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发明公开
利用多束粒子显微镜对3D样本成像的方法有权转让

公开(公告)号：CN111477530A

公开(公告)日：2020-07-31

申请号：CN201911363126.4

申请日：2019-12-25

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 , A.L.埃伯利

IPC: H01J37/26 , H01J37/28

Abstract: 本发明披露了一种利用多束粒子显微镜对3D样本成像的快速方法。该方法包括以下步骤：提供该3D样本的层；确定包括在所述层中的特征的特征大小；基于所述层中的所确定的特征大小来确定像素大小；基于所确定的像素大小来确定所述层中的各个束之间的束间距大小；以及基于所确定的像素大小并且基于所确定的束间距大小，利用该多束粒子显微镜的设置对该3D样本的所述层成像。

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