公开(公告)号：CN102256893A

公开(公告)日：2011-11-23

申请号：CN200980147111.2

申请日：2009-11-06

申请人： 卡文迪什动力有限公司

发明人： 查尔斯·戈登·史密斯 ,  理查德·L·奈普 ,  维克拉姆·乔希 ,  罗伯托·加迪 ,  阿纳特兹·乌纳穆诺 ,  罗伯图斯·彼得勒斯·范坎彭

IPC分类号： B81C1/00

CPC分类号： B81B7/04 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2207/053 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P15/135 ,  H01G5/18 ,  H01G5/40

摘要： 本申请公开的多个实施例主要包括利用大量的小MEMS器件来替换单独的较大MEMS器件或数字可变电容器的功能。大量较小的MEMS器件执行与较大的器件相同的功能，但是由于其尺寸较小，因此能够利用互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容工艺将这些较小的MEMS器件封装在空腔中。对大量较小的器件进行平均的信号使得较小器件的阵列的精度相当于该较大的器件的精度。通过考虑使用基于MEMS的加速度开关阵列来举例说明该过程，其中该开关阵列具有集成的惯性响应的模数转换。还通过考虑利用基于MEMS的器件结构来举例说明该过程，其中该MEMS器件并联地工作以作为数字可变电容器。

公开(公告)号：CN102256893B

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN200980147111.2

申请日：2009-11-06

申请人： 卡文迪什动力有限公司

发明人： 查尔斯·戈登·史密斯 ,  理查德·L·奈普 ,  维克拉姆·乔希 ,  罗伯托·加迪 ,  阿纳特兹·乌纳穆诺 ,  罗伯图斯·彼得勒斯·范坎彭

IPC分类号： B81C1/00

CPC分类号： B81B7/04 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2207/053 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P15/135 ,  H01G5/18 ,  H01G5/40

摘要： 本申请公开的多个实施例主要包括利用大量的小MEMS器件来替换单独的较大MEMS器件或数字可变电容器的功能。大量较小的MEMS器件执行与较大的器件相同的功能，但是由于其尺寸较小，因此能够利用互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容工艺将这些较小的MEMS器件封装在空腔中。对大量较小的器件进行平均的信号使得较小器件的阵列的精度相当于该较大的器件的精度。通过考虑使用基于MEMS的加速度开关阵列来举例说明该过程，其中该开关阵列具有集成的惯性响应的模数转换。还通过考虑利用基于MEMS的器件结构来举例说明该过程，其中该MEMS器件并联地工作以作为数字可变电容器。

公开(公告)号：CN102640410B

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201080047652.0

申请日：2010-10-01

申请人： 卡文迪什动力有限公司

发明人： 理查德·L·奈普 ,  罗伯图斯·P·范坎彭 ,  阿纳特兹·乌纳穆诺

IPC分类号： H02N1/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01G5/18

摘要： 本发明一般涉及能够热切换的RF MEMS装置。RF MEMS装置通过利用一或多个弹簧机构能够热切换。在某些实施例中，可以使用在MEMS装置的悬臂的位移中的特定点转为啮合的两组或两组以上弹簧。弹簧允许显著增加给定拉入下落电压的释放电压。

公开(公告)号：CN102640410A

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN201080047652.0

申请日：2010-10-01

申请人： 卡文迪什动力有限公司

发明人： 理查德·L·奈普 ,  罗伯图斯·P·范坎彭 ,  阿纳特兹·乌纳穆诺

IPC分类号： H02N1/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01G5/18

摘要： 本发明一般涉及能够热切换的RF MEMS装置。RF MEMS装置通过利用一或多个弹簧机构能够热切换。在某些实施例中，可以使用在MEMS装置的悬臂的位移中的特定点转为啮合的两组或两组以上弹簧。弹簧允许显著增加给定拉入下落电压的释放电压。