公开(公告)号：CN103649709A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201280034953.9

申请日：2012-05-18

申请人： 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司

发明人： 格哈德·威廉·沃尔特 ,  京特·霍尔斯坦 ,  克里斯蒂安·拜尔

IPC分类号： G01M3/20

CPC分类号： G01M3/02 ,  G01M3/202

摘要： 检漏装置具有测试室（10），测试室与抽真空泵装置（14）连接用于抽真待测试空。此外，测试室（10）经由测试气体管路（20）与测试气体泵装置（18）连接。测试气体泵装置（18）在其主入口（28）处与测试气体检测器（30）连接，使得能够按逆流原理对测试气体进行检测。在测试气体管路（20）中设置有阀装置（38）。该阀装置具有测试气体室（44）用于缓存从测试室（10）中提取的测试气体。

公开(公告)号：CN103649709B

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201280034953.9

申请日：2012-05-18

申请人： 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司

发明人： 格哈德·威廉·沃尔特 ,  京特·霍尔斯坦 ,  克里斯蒂安·拜尔

IPC分类号： G01M3/20

CPC分类号： G01M3/02 ,  G01M3/202

摘要： 检漏装置具有测试室（10），测试室与抽真空泵装置（14）连接用于抽真待测试空。此外，测试室（10）经由测试气体管路（20）与测试气体泵装置（18）连接。测试气体泵装置（18）在其主入口28）处与测试气体检测器（30）连接，使得能够按逆流原理对测试气体进行检测。在测试气体管路20）中设置有阀装置（38）。该阀装置具有测试气体室（44）用于缓存从测试室（10）中提取的测试气体。