公开(公告)号：CN104465409A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410541375.9

申请日：2014-07-29

Applicant: 原子能和代替能源委员会

Inventor： T·塞巴斯蒂安 ,  M·贝德贾维 ,  A·恩纳杰达维

IPC: H01L21/48 ,  H01L23/498

CPC classification number: H05K3/06 ,  B05D1/005 ,  B05D1/32 ,  B05D3/107 ,  B81B7/007 ,  H05K1/111 ,  H01L21/4803 ,  H01L23/49838

Abstract: 一种在基板(10)的表面(11)上制造第一材料的图案化层(14)的方法，包含以下连续步骤：将颗粒(12)布置在基板(10)的表面(11)上；通过旋涂在基板(10)的表面(11)上沉积树脂(13)，从而形成第一材料的图案化层(14)以及穿过第一材料的层并通到颗粒(12)的孔(30)；颗粒(12)和树脂(13)的材料选择为使得颗粒(12)施加相对于树脂(13)的排斥互作用。