公开(公告)号：CN115825013B

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202211326019.6

申请日：2022-10-27

申请人： 厦门大学

发明人： 朱锦锋 ,  苏圣东 ,  李法君 ,  关超恒 ,  申家情 ,  刘雪莹 ,  邓柏昌 ,  姜远远

IPC分类号： G01N21/552 ,  G01N21/01

摘要： 本发明提供了一种抗氧化纳米等离激元超表面生物传感器及其制备方法。该传感器包括：衬底层、金属层和介质层，衬底层和金属层自下而上复合形成，介质层连接在金属层的表面，其中，介质层的材质为氮化钛，衬底层为周期性纳米孔洞结构，金属层和介质层依次镀设于周期性纳米孔洞结构的衬底层表面，使得衬底层、金属层和介质层形成的复合层为周期性纳米孔洞结构。氮化钛的光学性质通过改变加工条件和结构尺寸来调节。制备方法结合纳米压印与深度刻蚀制备周期性纳米结构阵列，通过电子束蒸发镀铝，磁控溅射法镀氮化钛，提高周期性纳米结构阵列的传感性能，增强传感器的稳定性。解决铝在空气中容易被氧化的问题，保留优异的等离激元特性。

公开(公告)号：CN115825013A

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202211326019.6

申请日：2022-10-27

申请人： 厦门大学

发明人： 朱锦锋 ,  苏圣东 ,  李法君 ,  关超恒 ,  申家情 ,  刘雪莹 ,  邓柏昌 ,  姜远远

IPC分类号： G01N21/552 ,  G01N21/01

摘要： 本发明提供了一种抗氧化纳米等离激元超表面生物传感器及其制备方法。该传感器包括：衬底层、金属层和介质层，衬底层和金属层自下而上复合形成，介质层连接在金属层的表面，其中，介质层的材质为氮化钛，衬底层为周期性纳米孔洞结构，金属层和介质层依次镀设于周期性纳米孔洞结构的衬底层表面，使得衬底层、金属层和介质层形成的复合层为周期性纳米孔洞结构。氮化钛的光学性质通过改变加工条件和结构尺寸来调节。制备方法结合纳米压印与深度刻蚀制备周期性纳米结构阵列，通过电子束蒸发镀铝，磁控溅射法镀氮化钛，提高周期性纳米结构阵列的传感性能，增强传感器的稳定性。解决铝在空气中容易被氧化的问题，保留优异的等离激元特性。