同步三维散斑干涉测量系统及测量方法

    公开(公告)号:CN103727891B

    公开(公告)日:2016-08-31

    申请号:CN201410012738.X

    申请日:2014-01-10

    Abstract: 本发明公开了一种同步三维散斑干涉测量系统,其特征是激光器出射光被分光镜分为第一束光和第二束光;第一束光经过凸透镜会聚到载波光纤中,并由载波光纤经过光纤分束器将第一束光分为三路光分别引导照射到放置在三个不同检测方向的CCD摄像机的靶面阵列上,构成参考光载波光路;第二束光经扩束镜照射在被测物的表面形成激光散斑干涉,由三个不同检测方向的CCD摄像机靶面阵列对被测物表面的激光散斑干涉进行采集,构成物光测量光路;参考光载波光路和物光测量光路的激光被三个不同检测方向的CCD摄像机采集,获得激光散斑干涉的相位;比较被测物的表面在变形前和变形后在不同检测方向上的激光散斑干涉的相位,测得被测物表面的三维变形信息。

    同步三维散斑干涉测量系统及测量方法

    公开(公告)号:CN103727891A

    公开(公告)日:2014-04-16

    申请号:CN201410012738.X

    申请日:2014-01-10

    Abstract: 本发明公开了一种同步三维散斑干涉测量系统,其特征是激光器出射光被分光镜分为第一束光和第二束光;第一束光经过凸透镜会聚到载波光纤中,并由载波光纤经过光纤分束器将第一束光分为三路光分别引导照射到放置在三个不同检测方向的CCD摄像机的靶面阵列上,构成参考光载波光路;第二束光经扩束镜照射在被测物的表面形成激光散斑干涉,由三个不同检测方向的CCD摄像机靶面阵列对被测物表面的激光散斑干涉进行采集,构成物光测量光路;参考光载波光路和物光测量光路的激光被三个不同检测方向的CCD摄像机采集,获得激光散斑干涉的相位;比较被测物的表面在变形前和变形后在不同检测方向上的激光散斑干涉的相位,测得被测物表面的三维变形信息。

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