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公开(公告)号:CN101788268A
公开(公告)日:2010-07-28
申请号:CN201010127525.3
申请日:2010-03-17
申请人: 合肥工业大学
IPC分类号: G01B11/02
摘要: 本发明公开了一种超精密光纤光栅位移传感器,其特征是设置被固定的测头壳体,测头壳体为一筒状体,筒状体的底部为敞口,在敞口端面上,沿径向设置有一横梁;测杆是由相互平行的上片簧和下片簧固定在测头壳体的内侧壁上,并保持测杆与测头壳体为同轴,组成平行片簧导轨;在测杆的顶端设置压簧;测杆的底端探出测头壳体,并且在探出测头壳体的测杆的底端固联有硬测头。本发明灵敏度很高、结构简单、成本较低,能实现在小范围内纳米级测微精度。
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公开(公告)号:CN101788268B
公开(公告)日:2012-01-18
申请号:CN201010127525.3
申请日:2010-03-17
申请人: 合肥工业大学
IPC分类号: G01B11/02
摘要: 本发明公开了一种超精密光纤光栅位移传感器,其特征是设置被固定的测头壳体,测头壳体为一筒状体,筒状体的底部为敞口,在敞口端面上,沿径向设置有一横梁;测杆是由相互平行的上片簧和下片簧固定在测头壳体的内侧壁上,并保持测杆与测头壳体为同轴,组成平行片簧导轨;在测杆的顶端设置压簧;测杆的底端探出测头壳体,并且在探出测头壳体的测杆的底端固联有硬测头。本发明灵敏度很高、结构简单、成本较低,能实现在小范围内纳米级测微精度。
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公开(公告)号:CN101419044A
公开(公告)日:2009-04-29
申请号:CN200810196741.6
申请日:2008-09-19
申请人: 合肥工业大学
IPC分类号: G01B5/008
摘要: 微纳米级三维测量“331”系统及其测量方法,其特征是设置三维测量系统X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线相互垂直并相交于一交点上,以交点为坐标原点,建立三维坐标系;设置测量系统中测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面与测头中心点所在的测量面三面共面形成重合平面;设置X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线的交点处于测量平台的重合平面上;同时使X、Y轴标准量尺寸线或其延长线也与三面重合,使已建三维坐标系的X、Y坐标面与测量面重合;设置测头中心点与三条标准量尺寸线或其延长线交点重合。本发明在三维方向上都满足阿贝原则,从而能有效避免阿贝误差,保证高测量精度。
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公开(公告)号:CN103759753B
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201310684531.2
申请日:2013-12-13
申请人: 合肥工业大学
摘要: 本发明公开了一种光栅光电信号速度测试装置,括有依次连接的电源、模拟高速光栅光信号发生装置、被测光栅光电信号的后续处理系统和电压测量显示器四部分;电源为系统供电;模拟高速光栅光信号发生装置产生周期变化的光强信息,光强变化和计量光栅相对移动产生的莫尔条纹相同,并同时将光强变化转化为电信号;从模拟高速光栅光信号发生装置产生的电信号接入被测试光栅光电信号的后续处理系统,获得电压变化值;通过对显示的位移测量值进行分析,测试光栅光电信号的后续处理系统是否能够匹配光栅的跟踪速度。本发明利用高速光栅旋转运动模拟光栅高速直线运动信号,用于解决测试光栅光信号的后续光电处理系统信号处理速度问题。
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公开(公告)号:CN103759753A
公开(公告)日:2014-04-30
申请号:CN201310684531.2
申请日:2013-12-13
申请人: 合肥工业大学
摘要: 本发明公开了一种光栅光电信号速度测试装置,括有依次连接的电源、模拟高速光栅光信号发生装置、被测光栅光电信号的后续处理系统和电压测量显示器四部分;电源为系统供电;模拟高速光栅光信号发生装置产生周期变化的光强信息,光强变化和计量光栅相对移动产生的莫尔条纹相同,并同时将光强变化转化为电信号;从模拟高速光栅光信号发生装置产生的电信号接入被测试光栅光电信号的后续处理系统,获得电压变化值;通过对显示的位移测量值进行分析,测试光栅光电信号的后续处理系统是否能够匹配光栅的跟踪速度。本发明利用高速光栅旋转运动模拟光栅高速直线运动信号,用于解决测试光栅光信号的后续光电处理系统信号处理速度问题。
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公开(公告)号:CN101419044B
公开(公告)日:2010-10-06
申请号:CN200810196741.6
申请日:2008-09-19
申请人: 合肥工业大学
IPC分类号: G01B5/008
摘要: 微纳米级三维测量“331”系统及其测量方法,其特征是设置三维测量系统X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线相互垂直并相交于一交点上,以交点为坐标原点,建立三维坐标系;设置测量系统中测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面与测头中心点所在的测量面三面共面形成重合平面;设置X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线的交点处于测量平台的重合平面上;同时使X、Y轴标准量尺寸线或其延长线也与三面重合,使已建三维坐标系的X、Y坐标面与测量面重合;设置测头中心点与三条标准量尺寸线或其延长线交点重合。本发明在三维方向上都满足阿贝原则,从而能有效避免阿贝误差,保证高测量精度。
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