低热膨胀石英量棒、其标定方法及其应用

    公开(公告)号:CN101701786B

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN200910185005.5

    申请日:2009-10-28

    IPC分类号: G01B5/008

    摘要: 低热膨胀石英量棒、其标定方法及其应用,其特征是石英量棒的结构形式为设置低热膨胀系数的石英棒为主体,两端套装金属套筒,两端金属套筒的端面上各有一锥窝,两个端面上的锥窝其锥角和深度相同,两端锥窝中心线重合。本发明受温度影响很小、使用时所需采点数目少,能有效降低测量温度误差、加工精度和数据拟合误差对量块的工作长度的影响,尤其适用于关节式坐标测量机参数标定。

    超精密光纤光栅位移传感器

    公开(公告)号:CN101788268A

    公开(公告)日:2010-07-28

    申请号:CN201010127525.3

    申请日:2010-03-17

    IPC分类号: G01B11/02

    摘要: 本发明公开了一种超精密光纤光栅位移传感器,其特征是设置被固定的测头壳体,测头壳体为一筒状体,筒状体的底部为敞口,在敞口端面上,沿径向设置有一横梁;测杆是由相互平行的上片簧和下片簧固定在测头壳体的内侧壁上,并保持测杆与测头壳体为同轴,组成平行片簧导轨;在测杆的顶端设置压簧;测杆的底端探出测头壳体,并且在探出测头壳体的测杆的底端固联有硬测头。本发明灵敏度很高、结构简单、成本较低,能实现在小范围内纳米级测微精度。

    超精密光纤光栅位移传感器

    公开(公告)号:CN101788268B

    公开(公告)日:2012-01-18

    申请号:CN201010127525.3

    申请日:2010-03-17

    IPC分类号: G01B11/02

    摘要: 本发明公开了一种超精密光纤光栅位移传感器,其特征是设置被固定的测头壳体,测头壳体为一筒状体,筒状体的底部为敞口,在敞口端面上,沿径向设置有一横梁;测杆是由相互平行的上片簧和下片簧固定在测头壳体的内侧壁上,并保持测杆与测头壳体为同轴,组成平行片簧导轨;在测杆的顶端设置压簧;测杆的底端探出测头壳体,并且在探出测头壳体的测杆的底端固联有硬测头。本发明灵敏度很高、结构简单、成本较低,能实现在小范围内纳米级测微精度。

    微纳米级三维测量“331”系统及其测量方法

    公开(公告)号:CN101419044A

    公开(公告)日:2009-04-29

    申请号:CN200810196741.6

    申请日:2008-09-19

    IPC分类号: G01B5/008

    摘要: 微纳米级三维测量“331”系统及其测量方法,其特征是设置三维测量系统X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线相互垂直并相交于一交点上,以交点为坐标原点,建立三维坐标系;设置测量系统中测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面与测头中心点所在的测量面三面共面形成重合平面;设置X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线的交点处于测量平台的重合平面上;同时使X、Y轴标准量尺寸线或其延长线也与三面重合,使已建三维坐标系的X、Y坐标面与测量面重合;设置测头中心点与三条标准量尺寸线或其延长线交点重合。本发明在三维方向上都满足阿贝原则,从而能有效避免阿贝误差,保证高测量精度。

    一种光栅光电信号速度测试装置

    公开(公告)号:CN103759753B

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201310684531.2

    申请日:2013-12-13

    IPC分类号: G01D18/00 G01B11/02

    摘要: 本发明公开了一种光栅光电信号速度测试装置,括有依次连接的电源、模拟高速光栅光信号发生装置、被测光栅光电信号的后续处理系统和电压测量显示器四部分;电源为系统供电;模拟高速光栅光信号发生装置产生周期变化的光强信息,光强变化和计量光栅相对移动产生的莫尔条纹相同,并同时将光强变化转化为电信号;从模拟高速光栅光信号发生装置产生的电信号接入被测试光栅光电信号的后续处理系统,获得电压变化值;通过对显示的位移测量值进行分析,测试光栅光电信号的后续处理系统是否能够匹配光栅的跟踪速度。本发明利用高速光栅旋转运动模拟光栅高速直线运动信号,用于解决测试光栅光信号的后续光电处理系统信号处理速度问题。

    一种光栅光电信号速度测试装置

    公开(公告)号:CN103759753A

    公开(公告)日:2014-04-30

    申请号:CN201310684531.2

    申请日:2013-12-13

    IPC分类号: G01D18/00 G01B11/02

    摘要: 本发明公开了一种光栅光电信号速度测试装置,括有依次连接的电源、模拟高速光栅光信号发生装置、被测光栅光电信号的后续处理系统和电压测量显示器四部分;电源为系统供电;模拟高速光栅光信号发生装置产生周期变化的光强信息,光强变化和计量光栅相对移动产生的莫尔条纹相同,并同时将光强变化转化为电信号;从模拟高速光栅光信号发生装置产生的电信号接入被测试光栅光电信号的后续处理系统,获得电压变化值;通过对显示的位移测量值进行分析,测试光栅光电信号的后续处理系统是否能够匹配光栅的跟踪速度。本发明利用高速光栅旋转运动模拟光栅高速直线运动信号,用于解决测试光栅光信号的后续光电处理系统信号处理速度问题。

    微纳米级三维测量“331”系统及其测量方法

    公开(公告)号:CN101419044B

    公开(公告)日:2010-10-06

    申请号:CN200810196741.6

    申请日:2008-09-19

    IPC分类号: G01B5/008

    摘要: 微纳米级三维测量“331”系统及其测量方法,其特征是设置三维测量系统X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线相互垂直并相交于一交点上,以交点为坐标原点,建立三维坐标系;设置测量系统中测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面与测头中心点所在的测量面三面共面形成重合平面;设置X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线的交点处于测量平台的重合平面上;同时使X、Y轴标准量尺寸线或其延长线也与三面重合,使已建三维坐标系的X、Y坐标面与测量面重合;设置测头中心点与三条标准量尺寸线或其延长线交点重合。本发明在三维方向上都满足阿贝原则,从而能有效避免阿贝误差,保证高测量精度。

    低热膨胀石英量棒、其标定方法及其应用

    公开(公告)号:CN101701786A

    公开(公告)日:2010-05-05

    申请号:CN200910185005.5

    申请日:2009-10-28

    IPC分类号: G01B5/008

    摘要: 低热膨胀石英量棒、其标定方法及其应用,其特征是石英量棒的结构形式为设置低热膨胀系数的石英棒为主体,两端套装金属套筒,两端金属套筒的端面上各有一锥窝,两个端面上的锥窝其锥角和深度相同,两端锥窝中心线重合。本发明受温度影响很小、使用时所需采点数目少,能有效降低测量温度误差、加工精度和数据拟合误差对量块的工作长度的影响,尤其适用于关节式坐标测量机参数标定。

    新型高精度球体多参数测量仪及其精度调整方法

    公开(公告)号:CN101221031A

    公开(公告)日:2008-07-16

    申请号:CN200810019536.2

    申请日:2008-01-21

    IPC分类号: G01B5/20

    摘要: 本发明公开了一种新型高精度球体多参数测量仪及其精度调整方法,包括有底座,底座上安装在可转动的锥窝夹具,底座上锥窝夹具一侧安装有立柱,所述的立柱上有可上下滑动的滑块,滑块与立柱有上下调整及锁紧机构,所述的滑块上安装有旋转臂,所述的旋转臂上安装有测头,所述的测头位于锥窝夹具的正上方。适用于不同直径球体的球径和球度测量,而且通过更换旋转臂对内外球面都可以进行测量,精度很高。