用于光谱共焦测量的多通道合成的宽光谱光源及融合方法

    公开(公告)号:CN113533217B

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202110804880.8

    申请日:2021-07-16

    发明人: 卢荣胜 张紫龙

    IPC分类号: G01N21/25 G01N21/55

    摘要: 本发明公开了一种用于光谱共焦测量的多通道合成的宽光谱光源及融合方法,该宽光谱光源包括:直流开关电源、恒流驱动电路、LED阵列、光纤耦合法兰、光纤分路器;单色LED、散热器和光纤耦合法兰共同构成多通道LED光源模块的一个通道,各通道互相独立,单独供电控制;光纤耦合法兰将单色LED的出射光耦合到分路光纤,利用光谱叠加原理,将多个通道不同波长的单色LED出射光进行融合,得到可调节的宽光谱光源。本发明能够消除传统光源对测量信号峰值的调制作用,还可以消除色散物镜对不同波长透过率不一致的影响,提升测量信号的信噪比,以提高测量的准确性,此外还可以根据不同的测量需求调节输出的光谱特性,获得良好的测量信号。

    用于光谱共焦测量的多通道合成的宽光谱光源及融合方法

    公开(公告)号:CN113533217A

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202110804880.8

    申请日:2021-07-16

    发明人: 卢荣胜 张紫龙

    IPC分类号: G01N21/25 G01N21/55

    摘要: 本发明公开了一种用于光谱共焦测量的多通道合成的宽光谱光源及融合方法,该宽光谱光源包括:直流开关电源、恒流驱动电路、LED阵列、光纤耦合法兰、光纤分路器;单色LED、散热器和光纤耦合法兰共同构成多通道LED光源模块的一个通道,各通道互相独立,单独供电控制;光纤耦合法兰将单色LED的出射光耦合到分路光纤,利用光谱叠加原理,将多个通道不同波长的单色LED出射光进行融合,得到可调节的宽光谱光源。本发明能够消除传统光源对测量信号峰值的调制作用,还可以消除色散物镜对不同波长透过率不一致的影响,提升测量信号的信噪比,以提高测量的准确性,此外还可以根据不同的测量需求调节输出的光谱特性,获得良好的测量信号。

    一种基于色散共焦光谱法的表面粗糙度测量系统及其方法

    公开(公告)号:CN106767573A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201710183101.0

    申请日:2017-03-24

    发明人: 卢荣胜 张紫龙

    IPC分类号: G01B11/30

    CPC分类号: G01B11/30

    摘要: 本发明公开了一种基于色散共焦光谱法的表面粗糙度测量系统及其方法,其特征是包括:横向位移控制单元、信号发生与信号处理单元和光栅测量单元;横向位移控制单元包括:音圈电机定子、音圈电机动子、弹簧、音圈电机动子定位块、色散共焦测头夹持装置、色散共焦测头、调整旋钮、平台底板、固定板、滑块和导轨;信号发生与信号处理单元包括:光纤、光纤耦合器、宽光谱光源、光谱仪、光栅采集卡、音圈电机电源;光栅测量单元包括:光栅读数头和光栅主尺。本发明能实现多种场合快速高精度的表面粗糙度测量,从而提高测量精度和效率。

    一种线扫描光谱共焦色散物镜
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116299979A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310388047.9

    申请日:2023-04-12

    摘要: 本发明公开了一种线扫描光谱共焦色散物镜,包括:线光源入射端与接收端、色散物镜前组光学系统、孔径光阑、色散物镜后组光学系统;其中,色散物镜前组光学系统是由三组镜片组成的消色差光学系统,将入射光准直,向后传输;孔径光阑可以调节通光孔径,控制物镜的光通量;色散物镜后组光学系统是由三组镜片组成的增色差光学系统,将经由前组光学系统准直的平行光按照波长聚焦在不同的焦平面。本发明采用分段式双远心物镜结构,可以实现不同视场下各波长汇聚光均垂直于待测表面,降低轴外视场的测量误差,此外分段式的物镜结构可以根据不同测试需求,更换物镜的后组光学系统,从而能实现不同的测量范围和视场。