公开(公告)号：CN117133614A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202310921255.0

申请日：2023-07-26

申请人： 合肥工业大学

发明人： 曹青 ,  阳芳 ,  邹鹏飞 ,  吴俊 ,  王旭迪 ,  毕海林 ,  张俊 ,  李鹏程 ,  仇建东

IPC分类号： H01J3/02 ,  H01J41/18

摘要： 本发明涉及一种基于热释电原理的微型离子泵，属于离子泵技术领域。该微型离子泵包括真空室，所述真空室一侧设有射频离子阱模块且另一侧设有热释电电子源；所述热释电电子源包括设于真空室底部的第一热释电晶体和用于调节第一热释电晶体温度的温控模块；所述射频离子阱模块包括密封地固设于真空室顶部的电馈通和对向设置在真空室内部的第一极板和第二极板。本发明的第一极板与第二极板形成离子阱，第一热释电晶体在温度变化的同时放电，通过极板吸收电离产生的离子，离子泵结构简单，体积小巧，能够应用于小型原子系统中，能够去除真空室中的气体且不需要外接高压电源。

公开(公告)号：CN117174566A

公开(公告)日：2023-12-05

申请号：CN202311144351.5

申请日：2023-09-06

申请人： 合肥工业大学 ,  费勉仪器科技(上海)有限公司

发明人： 曹青 ,  朱冠卿 ,  王旭迪 ,  邹鹏飞 ,  毕海林 ,  谢斌平 ,  董金奎

IPC分类号： H01J41/12

摘要： 本发明涉及一种用于连接标准真空电馈通的微型离子泵，属于离子泵技术领域。该用于连接标准真空电馈通的微型离子泵包括阴极、阳极和磁环，所述阴极包括阴极柱和阴极锥，所述阳极包括阳极筒和设于阳极筒侧壁上的若干个进气孔，所述阴极锥的尾部与阳极筒的侧壁之间形成环空。本发明通过磁环使电子围绕阴极轴心旋转，阴极与阳极之间形成电场，且由于阴极位于环空的一侧呈工字型，电子可在电磁场作用下，绕阴极轴心螺旋运动并上下起伏，以至于电子能够在极小空间内几乎无限地运动，离子泵能够持续稳定地抽取空气离子，且离子泵的体积足够小，可应用于微型真空系统中。