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发明公开
移载收板机审中-公开

公开(公告)号：CN116101785A

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN202310250964.0

申请日：2023-03-10

申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司

发明人： 韩燕子 , 焦官华 , 李香滨 , 胡昊

IPC分类号： B65G49/06

摘要： 本发明公开了一种移载收板机，包括输送模块、曝光模块、集板模块、移栽机模块和机器人模块，移栽机模块包括吸盘组件、安装板和底座，吸盘组件与安装板固定连接，安装板与底座可滑动地连接，且吸盘组件位于曝光模块的上方，吸盘组件用于将待曝光件吸附在曝光模块上。机器人模块设在吸盘组件的上方，机器人模块包括可伸缩的机械臂和第一吸盘，第一吸盘设在机械臂的自由端，第一吸盘用于将曝光模块上的被曝光件移动至集板模块上。根据本发明的移载收板机，减小了移载收板机的尺寸，从而减小了移载收板机的占用空间，同时有效简化了运动控制流程，可以提高移载收板机的工作效率，提高产能，降低成本。