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发明公开
环境控制与定位误差关系的测试装置审中-实审

公开(公告)号：CN114705464A

公开(公告)日：2022-07-05

申请号：CN202210302036.X

申请日：2022-03-24

申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司

发明人： 方林 , 刘磊 , 赵延城 , 项宗齐 , 童宝宏

IPC分类号： G01M99/00 , G01B11/00

摘要： 本发明公开了一种环境控制与定位误差关系的测试装置，包括：主体，主体设有测试空间和测试空间连通的进风口；换热器，换热器安装于主体且位于测试空间外；气体动力单元，气体动力单元安装于主体且驱动气体流动以形成测试气流，测试气流依次流经换热器、进风口和测试空间；运动组件，运动组件设于测试空间内；位移传感器，位移传感器设于测试空间内，用于检测运动组件的当前位置；激光干涉仪组件，激光干涉仪组件设于测试空间内，用于检测运动组件的当前位置；控制记录单元，控制记录单元设于测试空间外且分别与换热器、气体动力单元、运动组件、位移传感器和激光干涉仪组件连接。测试装置能够测试不同环控下对运动组件的定位误差的影响规律。