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发明公开
搬运手臂及具有其的曝光机审中-实审

公开(公告)号：CN117163656A

公开(公告)日：2023-12-05

申请号：CN202311119911.1

申请日：2023-08-31

申请人： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司

发明人： 陆原 , 焦官华 , 李香滨

IPC分类号： B65G47/91 , G03F7/20

摘要： 本发明公开了一种搬运手臂及具有其的曝光机，搬运手臂包括基座组件、驱动组件、传动组件和吸附组件，驱动组件设于基座组件上；传动组件设于基座组件上，且传动组件与驱动组件传动连接；传动组件包括第一传动件和第二传动件，第一传动件和第二传动件传动连接，第一传动件设于驱动组件的输出端；吸附组件设于第二传动件上，吸附组件用于吸附基板。这样，通过设有驱动组件、传动组件和吸附组件，以让驱动组件提供驱动力并通过传动组件传递到吸附组件上，以驱动吸附组件运动到指定位置，从而让吸附组件可以吸附基板到指定位置以实现基板的快速搬运，且结构紧凑、便于维护、能够实现小型化设计。