公开(公告)号：CN119846863A

公开(公告)日：2025-04-18

申请号：CN202510139201.8

申请日：2025-02-08

Applicant: 吉林大学

Inventor： 李冰 ,  尹悦鑫 ,  曾国宴 ,  杨赏赐 ,  周明辉 ,  张大明

IPC: G02F1/05 ,  G02F1/035 ,  G02F1/225 ,  G02B6/12

Abstract: 一种硅基和铁电材料异质集成的电光调制器，属于光学调制器技术领域。从下至上依次由硅基衬底、下包层、光波导芯层、上包层组成，光波导芯层为基于贝塞尔形多模干涉耦合器的MZI型结构，由上光波导芯层和下光波导芯层构成；上光波导芯层和下光波导芯层均被包覆在上包层之中，上光波导芯层和下光波导芯层之间由上包层分隔开；本发明使用锆钛酸铅、镧修饰锆钛酸铅、钛酸钡等铁电材料作为上光波导芯层，使用较高折射率的氮化硅、硅作为下光波导芯层，不但有益于降低驱动电压和实现多功能、低功耗、大规模集成的光子器件，而且器件制备工艺简单，结构紧凑，可以在较大的带宽下获得较小的器件尺寸和较低的额外损耗。