-
公开(公告)号：CN113639637B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202110940955.5
申请日：2021-08-17
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种利用图像传感器进行飞秒激光加工中焦点的检测方法及其应用，属于激光加工技术领域，包括反射光斑图像采集；聚焦焦点相对样品位置的标定；聚焦焦点相对样品位置检测三个步骤，通过利用计算机程序对图像传感器得到的反射光聚焦图像进行分析，能够实现对激光聚焦焦点精准的检测，然后通过移动z轴位移台使激光聚焦焦点准确移动到样品表面，可以有效解决激光加工中的离焦问题。相比于像散法、偏心光束法、傅科法等依赖于象限探测器的焦点检测方法，本发明利用图像传感器焦点对于倾斜样品的检测有更好的鲁棒性，系统结构简单，可重复性强，并具有较高的精度。
-
公开(公告)号：CN117900660A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410092254.4
申请日：2024-01-23
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/70 , B23K26/046
Abstract: 本发明公开了利用飞秒激光对曲面进行原位测量及加工的方法及其应用，属于激光微纳加工技术领域，包括：反射光斑图像采集；图像三维化处理和三维坐标点阵建立；三维坐标点阵插值和曲面图案加工；本发明的方法使用图像传感器进行飞秒激光加工中曲面的原位测量，然后通过对图像传感器得到的光斑图像进行三维化处理并在固定高度截取出椭圆，可以确定激光焦点与曲面表面的距离；对待测区域的测量可以获取曲面三维坐标，然后通过飞秒激光的扫描在曲面表面形成加工图案。该方法采用的原位测量与原位加工方法使用同一光源，避免了测量位置与加工位置存在误差的现象；相比于传统的利用高速振镜结合相机的测量方法，具有更高的测量精度。
-
公开(公告)号：CN113639637A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202110940955.5
申请日：2021-08-17
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种利用图像传感器进行飞秒激光加工中焦点的检测方法及其应用，属于激光加工技术领域，包括反射光斑图像采集；聚焦焦点相对样品位置的标定；聚焦焦点相对样品位置检测三个步骤，通过利用计算机程序对图像传感器得到的反射光聚焦图像进行分析，能够实现对激光聚焦焦点精准的检测，然后通过移动z轴位移台使激光聚焦焦点准确移动到样品表面，可以有效解决激光加工中的离焦问题。相比于像散法、偏心光束法、傅科法等依赖于象限探测器的焦点检测方法，本发明利用图像传感器焦点对于倾斜样品的检测有更好的鲁棒性，系统结构简单，可重复性强，并具有较高的精度。
-
-
Search Results
3
records
(took 0.015 seconds)
