公开(公告)号：CN119270429B

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202411815619.8

申请日：2024-12-11

Applicant: 吉林大学

Inventor： 田振男 ,  肖凯恒 ,  孙洪波 ,  陈岐岱

IPC: G02B6/136

Abstract: 本发明公开了利用飞秒激光原位多次改性制备低损耗急弯波导的方法，属于激光加工技术领域，该方法采用飞秒激光原位多次改性能精确优化单次直写中90º急弯波导存在弯曲损耗大的问题。其主要原理如下，通过控制高精度三维运动平台使飞秒激光聚焦在材料内部，调节飞秒激光加工能量和激光扫描速度达到单模波导的制备条件；再利用飞秒激光原位多次改性调控波导性能，制备出不同弯曲半径的90º低损耗急弯波导。原位多次改性能使材料中受激光改性的材料结构更加致密，波导的芯层折射率升高，有助于抑制辐射损耗；原位多次改性也可以驱动波导中的杂质离子迁移至波导边界，降低杂质离子对光的散射和吸收，降低波导的吸收和散射损耗。该方法的制备工艺简单，可靠性高，简单易实现。

公开(公告)号：CN119270429A

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202411815619.8

申请日：2024-12-11

Applicant: 吉林大学

Inventor： 田振男 ,  肖凯恒 ,  孙洪波 ,  陈岐岱

IPC: G02B6/136

Abstract: 本发明公开了利用飞秒激光原位多次改性制备低损耗急弯波导的方法，属于激光加工技术领域，该方法采用飞秒激光原位多次改性能精确优化单次直写中90º急弯波导存在弯曲损耗大的问题。其主要原理如下，通过控制高精度三维运动平台使飞秒激光聚焦在材料内部，调节飞秒激光加工能量和激光扫描速度达到单模波导的制备条件；再利用飞秒激光原位多次改性调控波导性能，制备出不同弯曲半径的90º低损耗急弯波导。原位多次改性能使材料中受激光改性的材料结构更加致密，波导的芯层折射率升高，有助于抑制辐射损耗；原位多次改性也可以驱动波导中的杂质离子迁移至波导边界，降低杂质离子对光的散射和吸收，降低波导的吸收和散射损耗。该方法的制备工艺简单，可靠性高，简单易实现。