一种基于蛛网结构的MEMS仿生加速度传感器

    公开(公告)号:CN115561484A

    公开(公告)日:2023-01-03

    申请号:CN202211055097.7

    申请日:2022-08-31

    Abstract: 本发明涉及传感器技术领域,提供一种基于蛛网结构的MEMS仿生加速度传感器,包括边框,边框具有空腔;质量块,质量块设于空腔内并位于空腔的中心;多个变截面悬臂梁,多个变截面悬臂梁设于空腔内并围设于质量块的四周;变截面悬臂梁的中部为无应力区,变截面悬臂梁的两端为应力区,每一变截面悬臂梁两端的应力区分别与质量块和边框连接,变截面悬臂梁两端的应力区布置压电薄膜,压电薄膜上设有叉指电极;多个连接梁,多个连接梁设于所述空腔内,且每一连接梁的两端分别与相邻的变截面悬臂梁的无应力区连接。本发明提高了电荷灵敏度,降低了噪音,还最大限度的抑制横轴串扰,降低了加速度传感器的横轴灵敏度。

    一种具有频率选择功能的粘弹性可调仿生柔性传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118706251A

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202411069576.3

    申请日:2024-08-06

    Abstract: 本发明公开了一种具有频率选择功能的粘弹性可调仿生柔性传感器及其制备方法,涉及柔性传感器技术领域,粘弹性可调仿生柔性传感器从上到下依次由高弹稳变层、振动传递层与频率识别层三部分组成,高弹稳变层置于柔性传感器的顶部和底部,与振动传递层和频率识别层接触面为通过旋涂等工艺制备的电极层,可在振动过程中提供稳定安全的受力界面并起到防尘、防干扰信号的保护作用。振动传递层包括高弹性微棘突导电薄膜与高弹性微拱形导电薄膜,二者呈微结构相对的方向连接,其中微棘突结构与微拱形结构切面中轴线重合,在受力过程中通过柔性微结构的界面调控起到放大振动效果并精准传递力的作用。频率识别层为可调谐粘弹性导电海绵,由聚酯海绵与导电混悬液制成,通过调整聚酯海绵的厚度与混悬液中导电粒子的配比与种类,改变导电海绵对多频振动的响应‑弛豫时间,实现振动频率的识别与按需调控。

    一种柔性应变传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117516358A

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202311276985.6

    申请日:2023-09-28

    Abstract: 本发明公开了一种柔性应变传感器及其制备方法,应变传感器包括:基底,用于连接在一表面上;功能层,连接于所述基底,所述功能层背离所述基底的一侧设有缝结构,且在所述缝结构的至少一侧设有多个分散结构;当所述功能层受力时,所述分散结构分散集中于所述缝结构的应力。通过功能层上设置缝结构,并在缝结构周侧设置多个分散结构,在基底连接于表面后,功能层受力集中于缝结构周侧,缝结构能够将微小形变产生的应力进行集中放大,以保证应变传感器的灵敏度,并通过多个分散结构分散集中于缝结构周侧的应力,从而提高应变传感器的耐久度和延展性,增大了柔性应变传感器的量程范围。

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