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1.

发明授权
一种双层手性结构的制备方法有权

公开(公告)号：CN109490998B

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN201811490968.1

申请日：2018-12-07

申请人： 吉林大学第一医院

发明人： 吕广超 , 薛岩 , 张岩 , 刘凯 , 王天堃

IPC分类号： G02B5/00

摘要： 本发明涉及微纳结构制备领域，具体涉及一种双层手性结构的制备方法，主要制备步骤包括准备玻璃基底、甩胶、曝光、显影定影、蒸镀金属材料和剥离光刻胶。该制备双层手性结构的方法只需要曝光一次，蒸镀一次就可以得到双层结构，并且上下层间距也可以在蒸镀过程中进行调节。该制备方法简便易操作，制备的双层结构精确度高。