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公开(公告)号：CN101372310A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200810064888.X
申请日：2008-07-09
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明提供了一种基于体硅工艺的纳米级定位平台及其垂直侧壁表面压阻加工方法。整个定位平台主要由作为结构层的硅与作为衬底的玻璃通过阳极键合加工而成，它包括载物台、侧向平动静电梳齿致动器、检测梁、折叠梁和柔性支撑梁，载物台位于整个定位平台的中心位置，通过呈十字分布的四个柔性支撑梁、折叠梁和检测梁支撑在整个平台中心，侧向平动静电梳齿致动器位于检测梁和折叠梁之间。本发明集结构、驱动和位移检测于一体的，并利用垂直侧壁表面压阻加工技术，把基于压阻检测原理的位移传感器集成到纳米定位平台的检测梁上，从而进一步提高了定位平台的定位精度和应用空间。
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公开(公告)号：CN101327592B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200810064983.X
申请日：2008-07-23
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明提供了一种集成压阻微力检测的四臂式MEMS微夹持器，它包括梳齿静电驱动结构、末端夹持结构、支撑结构和力检测结构，梳齿静电驱动结构由定齿和动齿组成，在定齿和动齿上加载电压，在静电力作用下，动齿向定齿运动，末端夹持结构设计四个夹持臂，中间的两个臂在动齿的驱动下向两侧的臂贴近，完成夹持；两侧的臂固定，上面集成了压阻，负责检测夹持力的大小。支撑结构将动齿悬空，并起到支撑作用，在静电力消失后利用自身弹性将动齿恢复到初始位置。力检测结构为夹持端的固定臂，在其根部两侧集成了侧壁压阻，实现对夹持力的检测，其中压阻结构、工艺简单，集成性好。整体结构加工在一片单晶硅上，通过硅玻璃键合，实现硅结构的支撑和绝缘。
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公开(公告)号：CN101327592A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200810064983.X
申请日：2008-07-23
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明提供了一种集成压阻微力检测的四臂式MEMS微夹持器，它包括梳齿静电驱动结构、末端夹持结构、支撑结构和力检测结构，梳齿静电驱动结构由定齿和动齿组成，在定齿和动齿上加载电压，在静电力作用下，动齿向定齿运动，末端夹持结构设计四个夹持臂，中间的两个臂在动齿的驱动下向两侧的臂贴近，完成夹持；两侧的臂固定，上面集成了压阻，负责检测夹持力的大小。支撑结构将动齿悬空，并起到支撑作用，在静电力消失后利用自身弹性将动齿恢复到初始位置。力检测结构为夹持端的固定臂，在其根部两侧集成了侧壁压阻，实现对夹持力的检测，其中压阻结构、工艺简单，集成性好。整体结构加工在一片单晶硅上，通过硅玻璃键合，实现硅结构的支撑和绝缘。
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