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发明公开
一种多通道可调谐的太赫兹传感装置审中-公开

公开(公告)号：CN118858210A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202410958467.0

申请日：2024-07-17

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 胡程鹏 , 闫飞 , 李立 , 田浩 , 刘辰翔 , 王冠超 , 杨钰坤

IPC分类号： G01N21/3581 , G01N21/3577 , G01N21/01

摘要： 一种多通道可调谐的太赫兹传感装置，涉及太赫兹技术领域。本发明是为了解决现有太赫兹超材料传感装置无法实现多通道可调谐的功能的问题。本发明所述的一种多通道可调谐的太赫兹传感装置，矩形腔为亚波长介质光栅集成腔，矩形腔的上表面开有条形缝隙，金反射层位于所述矩形腔内的底部，两条Au金属电极相互平行并分别固定在所述条形缝隙的两侧，单层石墨烯搭载在两条Au金属电极上并能够覆盖所述条形缝隙，矩形腔的内部空间通过两片石英玻璃片分隔成三个并列设置的微流体通道。