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公开(公告)号：CN103526292A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310469833.8
申请日：2013-09-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种面内剪切型压电敏感元件及其制作方法，方法如下：采用弛豫铁电单晶材料，首先将晶体沿[011]方向，即Z向极化，然后切割出垂直于该方向的平面(011)，该平面由坐标轴X和Y表示，在该平面沿与坐标轴夹角45度方向切割正方体晶片，切割得到正方体晶片之后，在其上下表面制作电极，得到内剪切型压电敏感元件，所述的[001]、[010]、[100]及[011]为晶体学中表示晶向的密勒指数，(011)表示晶面的密勒指数，[011]方向与(011)面相互垂直，x，y，z表示原晶体所置于的坐标系，其中z向为晶体的生长方向。本发明具有体积微小，可永久固定于结构表面或嵌入内部的优点。
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