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公开(公告)号：CN115855241A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211567455.2
申请日：2022-12-07
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种测量极紫外激光聚焦光斑的能量密度分布仪器及方法，涉及激光聚焦光斑技术领域。为解决现有CCD相机无法精确的拍摄聚焦效果良好的极紫外激光聚焦光斑，而且CCD相机无法承受太高的光强，不但会因接收器饱和无法读取真实数值，而且高能量密度的极紫外激光会对接收屏造成不可逆的损伤的问题。包括极紫外激光、超环面镜、PMMA样品和二极管；PMMA样品，设置在电动式二维平移平台上，并垂直光轴；二极管，设置于PMMA样品安装后方，用于监测极紫外激光。该测量极紫外激光聚焦光斑的能量密度分布仪器及方法，在PMMA烧蚀记录过程中不涉及电路，因此毛细管放电泵浦类的极紫外激光输出过程中产生的地电位浮动对记录过程没有影响。
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公开(公告)号：CN114751649B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202210440082.6
申请日：2022-04-25
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种利用激光制备材料表面纳米颗粒的方法，涉及材料表面颗粒制备领域，包括如下步骤：步骤1)、将基板置于真空室的移动平台上；所述基板上设有单层石墨烯；步骤2)、用一聚焦的脉宽1.6ns毛细管放电极紫外激光器对基板进行激光烧灼，激光波长为46.9nm，激光被一超环面镜掠入射反射聚焦，超环面镜没有涂层；在基板同一位置进行单发及多发激光脉冲的辐照；步骤3)、经过步骤2)处理的基板的烧蚀区域形成致密的纳米颗粒。在单层石墨烯的辅助下，纳秒极紫外激光器与玻璃衬底基板的相互作用能够诱导纳米颗粒的自形成，纳米颗粒分布在由聚焦EUV激光能量分布控制的烧蚀区域。
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公开(公告)号：CN116149053A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310259358.5
申请日：2023-03-16
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G02B27/00
摘要： 一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法，它涉及光学领域，本发明要解决极紫外波段光无法同时实现单点聚焦以及波前分割的问题，本发明的方法：设光轴与光学元件中心轴夹角为θ，单根入射光线与光学元件内表面入射点处切线方向的夹角为θ1，单根入射光线与光轴的夹角为θ2，单根光入射点法线与光学元件中心轴夹角为θ3；上述角度需满足以下公式：(90°‑θ1)+(θ2+θ)+(180°‑θ3)＝180°，依据上述公式调控掠入射反射的极紫外波段光与光学元件的关系，即完成所述的实现掠入射反射的极紫外波段光单点聚焦以及波前分割的方法。本发明的方法能够在获得一个很高反射率的同时，极大的减小光学畸变，同时除聚焦外具备波前分割功能，实现一定程度上的光场调控。
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公开(公告)号：CN114751649A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210440082.6
申请日：2022-04-25
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种利用激光制备材料表面纳米颗粒的方法，涉及材料表面颗粒制备领域，包括如下步骤：步骤1)、将基板置于真空室的移动平台上；所述基板上设有单层石墨烯；步骤2)、用一聚焦的脉宽1.6ns毛细管放电极紫外激光器对基板进行激光烧灼，激光波长为46.9nm，激光被一超环面镜掠入射反射聚焦，超环面镜没有涂层；在基板同一位置进行单发及多发激光脉冲的辐照；步骤3)、经过步骤2)处理的基板的烧蚀区域形成致密的纳米颗粒。在单层石墨烯的辅助下，纳秒极紫外激光器与玻璃衬底基板的相互作用能够诱导纳米颗粒的自形成，纳米颗粒分布在由聚焦EUV激光能量分布控制的烧蚀区域。
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