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公开(公告)号：CN113800325B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202111112943.X
申请日：2021-09-23
Applicant: 山东兰海新材料科技有限公司 , 哈尔滨工业大学(威海)
Abstract: 本发明提供一种金属微细线拉拔柔性张力控制装置，包括固定侧板、张力调节轮、转动盘、支点轴、转动盘轴和液压管，通过液压管内液体所产生的的压力来调节金属微细线的张力，缓冲金属微细线的张力变化。本发明的有益效果是由于采用上述技术方案，可以通过液压管内液面的高低来调节金属微细线的张力，通过选取特定密度的液体装填液压管，可扩大液压管内液面的位移量与张力的变化量之间的比值，实现张力的精确调节，液压管可以对张力波动进行缓冲。
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公开(公告)号：CN113917795A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110621.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板；负压调节框架通过若干个调平螺栓与外部框架相连接；外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔，外部框架的下端设有正压排气孔集群；外部框架的中部设有负压腔体，负压腔体的上端设有通槽，负压调节板位于通槽处并与通槽之间密封，负压腔体的边缘还设有与负压排气腔连通的负压排气孔。本发明实施例通过负压调节板的水平姿态改变调整气膜厚度，进而调节气浮模块的水平姿态，提高微动台的水平姿态精度。
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公开(公告)号：CN113917795B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111110621.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板；负压调节框架通过若干个调平螺栓与外部框架相连接；外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔，外部框架的下端设有正压排气孔集群；外部框架的中部设有负压腔体，负压腔体的上端设有通槽，负压调节板位于通槽处并与通槽之间密封，负压腔体的边缘还设有与负压排气腔连通的负压排气孔。本发明实施例通过负压调节板的水平姿态改变调整气膜厚度，进而调节气浮模块的水平姿态，提高微动台的水平姿态精度。
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公开(公告)号：CN114247765A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111595203.6
申请日：2021-12-24
Applicant: 哈尔滨工业大学(威海) , 山东兰海新材料科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种金属微细线加热方法及装置，红外灯发出的红外光照射于菲涅尔透镜上；菲涅尔透镜将红外光进行聚焦，聚焦后的红外光照射于平面反射镜上；调节平面反射镜与菲涅尔透镜之间的距离以及平面反射镜的角度，将红外光反射于待加热的金属微细线胚料上。本发明采用微区加热，加热精度高，能耗低，加热设备结构简单，应用于金属微细线加工可降低成本。
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公开(公告)号：CN114137804A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111542258.0
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种用于柔性照明器的多连杆耦合两轴驱动机构，属于属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有多自由度驱动机构无法兼顾设备尺寸限制和调整范围，无法适用于光刻机设备的问题。它包括外壳、底座、第一连杆组、第二连杆组、连杆组悬架和球型铰链，所述底座设置在外壳内，所述球型铰链包括球头和球头座，所述球头与底座相连，所述球头座与球头铰接相连，所述球头座上端与光学元件相连，所述第一连杆组与底座相连，所述第二连杆组通过连杆组悬架在球头座上与第一连杆组耦合，第一连杆组和第二连杆组共同作用，实现驱动机构的多自由度输出。它主要用于柔性照明器的驱动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114101930A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111497889.5
申请日：2021-12-09
Applicant: 哈尔滨工业大学(威海) , 山东兰海新材料科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种金属微细线打尖方法及装置，打尖方法中金属微细线转动，由激光对转动的金属细微线进行打尖，通过调整激光器发出的激光与金属微细线的角度，可自由调整加工尖锥度。打尖装置中采用同一动力源或不同动力源来驱动金属微细线始端固定盒与金属微细线末端固定盒同轴转动，保证金属微细线转动的一致性。本发明加工尖的锥度可通过调整激光器的激光与金属微细线的角度任意调整，调整灵活；线尖表面光滑、无飞边、无毛边，易于穿丝操作。
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公开(公告)号：CN113917796A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110623.0
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及运动平台技术领域，公开了一种多自由度宏微混合的精密运动台，包括基座、宏动模块、微动模块和微动台；基座包括支承平台，宏动模块包括X向驱动模块、Y向驱动模块和Z向驱动模块；微动模块包括底部框架、上部框架和垂向运动装置，底部框架与Z向驱动模块连接，垂向运动装置连接在底部框架与上部框架之间，垂向运动装置包括微动电机和传动件，传动件与上部框架传动连接；微动台固定布置在上部框架上。宏动模块的Z向驱动模块控制微动台在垂直方向上运动，并对微动台在Z向上进行粗略调节，微动模块的微动电机通过传动件带动微动台在Z向上做精密移动，提高了工件台在Z向上的精密运动控制，满足光刻机在微动台移动中的精度需求。
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公开(公告)号：CN113917792A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110517.2
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种工件台移动装置，其包括支撑框架、固定平台、第一固定机构、移动平台、第二固定机构和气浮机构，工作台通过气浮机构实现相对于固定平台或移动平台移动，与支撑面没有接触摩擦，相对于滚轮板簧机构而言消除了摩擦损耗对支撑面平面度的影响，保证了工件台的定位精度，降低了工件台移入移出过程中的控制难度；其次，本工件台移动装置采用了移动平台和固定平台衔接的工件台转移方式，将工件台的悬浮运动行程大大缩短到固定平台支撑面到移动平台支撑面的距离，进一步提高了工件台移入移出的效率，操作较为方便，实现了大质量、大体积工件台的长距离运动，降低了工件台跌落损毁的可能性。
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公开(公告)号：CN113800325A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202111112943.X
申请日：2021-09-23
Applicant: 山东兰海新材料科技有限公司 , 哈尔滨工业大学(威海)
Abstract: 本发明提供一种金属微细线拉拔柔性张力控制装置，包括固定侧板、张力调节轮、转动盘、支点轴、转动盘轴和液压管，通过液压管内液体所产生的的压力来调节金属微细线的张力，缓冲金属微细线的张力变化。本发明的有益效果是由于采用上述技术方案，可以通过液压管内液面的高低来调节金属微细线的张力，通过选取特定密度的液体装填液压管，可扩大液压管内液面的位移量与张力的变化量之间的比值，实现张力的精确调节，液压管可以对张力波动进行缓冲。
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公开(公告)号：CN101361963A
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：CN200810137122.X
申请日：2008-09-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 蛋白多肽类药物缓释微胶囊的制备方法，它涉及蛋白多肽类药物缓释制剂的制备方法。本发明解决了蛋白多肽类药物在体内稳定性差、极易变性失活等缺陷。本发明方法步骤如下：一、盐析法制蛋白多肽类药物微粒；二、吸附聚阴离子；三、吸附多价金属阳离子；四、吸附聚阴离子；五、吸附聚阳离子，得到蛋白多肽类药物缓释微胶囊。本发明产品中多价金属阳离子与聚阴离子通过静电引力及配位络合作用相互结合，大大提高了产品在体内稳定性；通过体外释放实验验证本发明产品释放缓慢，通过药理活性实验验证本发明产品具有生物活性，并且能够在体内缓慢发挥药效，持续12小时～24小时以上，同时为人体补充所需的微量元素。
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