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公开(公告)号：CN117283260B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311457252.2
申请日：2023-11-03
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23P19/00
摘要： 本发明提供一种用于气浮导轨导向槽间隙调整的装配机构，属于精密加工设备技术领域。该机构具体应用时测量精准，令工件装配尺寸稳定标准，采用自动测量的方式，替代了人工测量的工作步骤，令测量更快速更精准。该机构的柔性调整模块基于三坐标测量机进行使用，柔性调整模块包括柔性基座、锁紧机构及定位机构，待装配模块通过定位机构调整定位，通过锁紧机构安装在柔性基座上，三坐标测量机用于测量待装配模块的两个装配块间距，通过调整两个装配块之间连接螺钉松紧，实现两个装配块间距的准确调整。本发明能够实现对U形导轨的高效、精准装配，能够解决当前手动调整螺钉和卡尺测量存在的费时费力和精度不足的问题。
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公开(公告)号：CN113917798B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202111110721.4
申请日：2021-09-22
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明的实施例提供了一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，包括：工作台；四个校正模块，所述校正模块与所述工作台相连接，所述校正模块包括可发生柔性形变的柔性结构；以及四个驱动模块，所述驱动模块的顶部与所述校正模块一一对应连接，各所述驱动模块底部与宏动台相连接；其中，四个所述驱动模块的投影的连线构成四边形，各所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动；当任意两个所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动时，所述柔性结构发生柔性形变，实现所述工作台的位置调整。
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公开(公告)号：CN113885298B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202111110519.1
申请日：2021-09-22
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明涉及光刻机设备技术领域，公开了一种磁悬浮式光刻机掩模台，其包括基座、微动台、掩模版，基座上表面设有驱动机构和磁悬浮导轨，磁悬浮导轨为长条状，两条磁悬浮导轨互相平行，每条磁悬浮导轨朝向另一磁悬浮导轨一侧设有导轨凹槽；微动台设有安装位，微动台上表面设有四个上电磁铁，上电磁铁以矩形分布，四个上电磁铁位于矩形四个边角位置，微动台下表面设有四个下电磁铁，下电磁铁与上电磁铁的位置一一对应，微动台悬浮于两条磁悬浮导轨之间，上电磁铁和下电磁铁位于导轨凹槽内，驱动机构驱动微动台做多自由度精密运动；掩模版安装于安装位；控制电路，其用于控制每个上电磁铁和每个下电磁铁的磁力大小，实现了微动台多自由度位姿调整。
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公开(公告)号：CN114264476A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202111648331.2
申请日：2021-12-30
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种适用于多尺寸静压气浮轴承的静态性能测试装置，属于精密仪器及机械技术领域，本发明为了解决现有静压气浮轴承静动态性能测试装置无法根据实际工况调整解耦球的角度，无法实现复杂工况下静压气浮轴承的静态性能测试，并且在对被测部件加载时存在一定的偏差的问题，本发明提供的一种适用于多尺寸静压气浮轴承的静态性能测试装置，通过单独的气浮承载模块和工况调节模块，独立的气浮承载模块切断了气浮与主体结构的传力路径，保证了承载力测试的准确性，工况调节模块可以更加精确的实现了静压气浮轴承及其运动解耦连接结构的静态性能测试。
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公开(公告)号：CN113944691A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111110622.6
申请日：2021-09-22
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种移动式气浮导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔并平行设置，且均由能够与磁铁配合吸附的金属材质制成，导轨与悬浮装置连接并架设于两基座上；第一悬浮装置设于导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一气悬浮组件和第一磁矩阵，第一悬浮装置的底部设有第二气悬浮组件和第二磁矩阵；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三气悬浮组件和第三磁矩阵。本发明通过设计底部及侧面的气悬浮组件和磁矩阵结构降低导向机构的运动摩擦，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。
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公开(公告)号：CN113885298A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202111110519.1
申请日：2021-09-22
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明涉及光刻机设备技术领域，公开了一种磁悬浮式光刻机掩模台，其包括基座、微动台、掩模版，基座上表面设有驱动机构和磁悬浮导轨，磁悬浮导轨为长条状，两条磁悬浮导轨互相平行，每条磁悬浮导轨朝向另一磁悬浮导轨一侧设有导轨凹槽；微动台设有安装位，微动台上表面设有四个上电磁铁，上电磁铁以矩形分布，四个上电磁铁位于矩形四个边角位置，微动台下表面设有四个下电磁铁，下电磁铁与上电磁铁的位置一一对应，微动台悬浮于两条磁悬浮导轨之间，上电磁铁和下电磁铁位于导轨凹槽内，驱动机构驱动微动台做多自由度精密运动；掩模版安装于安装位；控制电路，其用于控制每个上电磁铁和每个下电磁铁的磁力大小，实现了微动台多自由度位姿调整。
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公开(公告)号：CN113833763A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202111110723.3
申请日：2021-09-22
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： F16C32/06
摘要： 本发明涉及精密运动技术领域，公开了一种精密运动气浮支撑装置，其包括基座、导轨和支撑框架，导轨水平设置于基座上并与基座固定连接，支撑框架套设于导轨上并可沿导轨滑动，支撑框架包括底部气浮板、顶部气浮板和侧向气浮板，侧向气浮板设有两块，两块侧向气浮板对称设置，侧向气浮板内设有侧向气路，侧向气浮板表面设有与侧向气路相连通的侧向进气孔和侧向排气孔，底部气浮板内设有底面气路，底部气浮板表面设有与底面气路相连通的底面进气孔和底面排气孔。与现有技术相比，该精密运动气浮支撑装置的结构设计简单可靠，进排气孔与气路设计能够有效降低气源的空间占用量，支撑框架具有良好的运动姿态与运动精度，操作人员的使用体验好。
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公开(公告)号：CN113917795B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111110621.1
申请日：2021-09-22
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板；负压调节框架通过若干个调平螺栓与外部框架相连接；外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔，外部框架的下端设有正压排气孔集群；外部框架的中部设有负压腔体，负压腔体的上端设有通槽，负压调节板位于通槽处并与通槽之间密封，负压腔体的边缘还设有与负压排气腔连通的负压排气孔。本发明实施例通过负压调节板的水平姿态改变调整气膜厚度，进而调节气浮模块的水平姿态，提高微动台的水平姿态精度。
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公开(公告)号：CN114247765A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111595203.6
申请日：2021-12-24
申请人： 哈尔滨工业大学(威海) , 山东兰海新材料科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种金属微细线加热方法及装置，红外灯发出的红外光照射于菲涅尔透镜上；菲涅尔透镜将红外光进行聚焦，聚焦后的红外光照射于平面反射镜上；调节平面反射镜与菲涅尔透镜之间的距离以及平面反射镜的角度，将红外光反射于待加热的金属微细线胚料上。本发明采用微区加热，加热精度高，能耗低，加热设备结构简单，应用于金属微细线加工可降低成本。
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公开(公告)号：CN114137804A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111542258.0
申请日：2021-12-16
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明提出了一种用于柔性照明器的多连杆耦合两轴驱动机构，属于属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有多自由度驱动机构无法兼顾设备尺寸限制和调整范围，无法适用于光刻机设备的问题。它包括外壳、底座、第一连杆组、第二连杆组、连杆组悬架和球型铰链，所述底座设置在外壳内，所述球型铰链包括球头和球头座，所述球头与底座相连，所述球头座与球头铰接相连，所述球头座上端与光学元件相连，所述第一连杆组与底座相连，所述第二连杆组通过连杆组悬架在球头座上与第一连杆组耦合，第一连杆组和第二连杆组共同作用，实现驱动机构的多自由度输出。它主要用于柔性照明器的驱动。
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