大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复装置

    公开(公告)号:CN103692561A

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201310744691.1

    申请日:2013-12-30

    IPC分类号: B28D5/00 B28D7/04

    摘要: 大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复装置,涉及一种大口径KDP晶体元件表面微缺陷搜寻与修复装置。以解决目前无对大口径KDP晶体元件表面的微缺陷进行快速搜寻及微铣削修复的装置问题。底部大平板上固定放置有整体平台装配总成,底部平台装配总成固定在整体平台装配总成上,晶体移动平台装配体固定在整体平台装配总成上,晶体显微镜移动平台固定在整体平台装配总成上;第一、二拖链通过导轨拖链连接块与晶体移动平台装配体连接,晶体显微镜移动平台支架的下部与整体平台装配总成的上端面连接,晶体显微镜移动平台安装于晶体显微镜移动平台支架上。本发明用于大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复。

    大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复装置

    公开(公告)号:CN103692561B

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201310744691.1

    申请日:2013-12-30

    IPC分类号: B28D5/00 B28D7/04

    摘要: 大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复装置,涉及一种大口径KDP晶体元件表面微缺陷搜寻与修复装置。以解决目前无对大口径KDP晶体元件表面的微缺陷进行快速搜寻及微铣削修复的装置问题。底部大平板上固定放置有整体平台装配总成,底部平台装配总成固定在整体平台装配总成上,晶体移动平台装配体固定在整体平台装配总成上,晶体显微镜移动平台固定在整体平台装配总成上;第一、二拖链通过导轨拖链连接块与晶体移动平台装配体连接,晶体显微镜移动平台支架的下部与整体平台装配总成的上端面连接,晶体显微镜移动平台安装于晶体显微镜移动平台支架上。本发明用于大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复。