一种ICF靶装配参数测量多自由度精密运动平台装置

    公开(公告)号:CN108534674B

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201810349361.5

    申请日:2018-04-18

    IPC分类号: G01B11/00 G01B11/24

    摘要: 本发明公开了一种ICF靶装配参数测量多自由度精密运动平台装置,所述装置包括ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以及承载上述三个系统的隔振平台四部分,其中:所述ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以品字形布局安装在隔振平台上面。本发明通过与高精度气浮导轨、气浮轴系相结合,结构优化集成,实现ICF靶空间姿态高精度调整,设计的具有输出靶坐标参数能力的运动平台,配合其他项目完成整体上的靶空间姿态的精密调整与控制,能够实现对微球、微圆柱、ICF靶装配参数的尺寸和形状精度等几何量的测量。

    一种ICF靶装配参数测量多自由度精密运动平台装置

    公开(公告)号:CN108534674A

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:CN201810349361.5

    申请日:2018-04-18

    IPC分类号: G01B11/00 G01B11/24

    CPC分类号: G01B11/00 G01B11/24

    摘要: 本发明公开了一种ICF靶装配参数测量多自由度精密运动平台装置,所述装置包括ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以及承载上述三个系统的隔振平台四部分,其中:所述ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以品字形布局安装在隔振平台上面。本发明通过与高精度气浮导轨、气浮轴系相结合,结构优化集成,实现ICF靶空间姿态高精度调整,设计的具有输出靶坐标参数能力的运动平台,配合其他项目完成整体上的靶空间姿态的精密调整与控制,能够实现对微球、微圆柱、ICF靶装配参数的尺寸和形状精度等几何量的测量。

    一种基于图像辅助的微小零件回转调心方法

    公开(公告)号:CN102642155B

    公开(公告)日:2013-12-11

    申请号:CN201210132031.3

    申请日:2012-05-02

    IPC分类号: B23Q17/22 B23Q17/24 B23Q15/22

    摘要: 一种基于图像辅助的微小零件回转调心方法。属于精密测量及加工领域。该方法借助图像辅助设备实现各种超精密加工、检测设备上安装零件非接触、无损伤调心。将待调心的微小零件安装在二维位移调心台面上,计算机系统捕获图像a,假定该待调心的微小零件回转中心坐标为(xc,yc);求得外圆圆心的位置坐标(x1,y1)并标识在图像a上;将回转主轴旋转已知角度θ,再捕获新图像b;并确定新位置坐标(x2,y2)及外圆轮廓半径;计算出待调心的微小零件的回转中心位置(xc,yc);使动态图像c的待调心的微小零件的外圆圆心坐标(x3,y3)与回转中心坐标(xc,yc)位置重合。本发明适合于易破损变形等微小零件的回转调心。

    一种基于图像辅助的微小零件回转调心方法

    公开(公告)号:CN102642155A

    公开(公告)日:2012-08-22

    申请号:CN201210132031.3

    申请日:2012-05-02

    IPC分类号: B23Q17/22 B23Q17/24 B23Q15/22

    摘要: 一种基于图像辅助的微小零件回转调心方法。属于精密测量及加工技术领域。该方法借助图像辅助设备实现各种超精密加工、检测设备上安装零件非接触、无损伤调心。将待调心的微小零件安装在二维位移调心台面上,计算机系统捕获一幅图像a,假定该待调心的微小零件的回转中心坐标为(xc,yc);求得外圆圆心的位置坐标(x1,y1),将求得的外圆轮廓圆心特征点(x1,y1)标识在图像a上;将回转主轴旋转已知的角度θ,再捕获一幅新图像b;确定新图像b上的新位置坐标(x2,y2)及外圆轮廓半径;计算出待调心的微小零件的回转中心位置(xc,yc);使得动态图像c上的待调心的微小零件的外圆圆心坐标(x3,y3)与回转中心坐标(xc,yc)的位置重合。本发明适合于易破损变形等微小零件的回转调心。