一种溶胶-凝胶法制备五氧化二钒薄膜的方法

    公开(公告)号:CN113401942A

    公开(公告)日:2021-09-17

    申请号:CN202110721604.5

    申请日:2021-06-28

    IPC分类号: C01G31/02

    摘要: 一种溶胶‑凝胶法制备五氧化二钒薄膜的方法,本发明涉及一种制备五氧化二钒薄膜的方法。本发明解决现有真空蒸镀法与溅射法制备的V2O5薄膜存在氧空位较多、工艺稳定性差、沉积速率低,含有低价态的钒氧化物的问题;溶胶‑凝胶法制备V2O5薄膜时需要高温熔融V2O5粉末,陈化时间长,制备周期长,薄膜通常粗糙多孔,质量不高的问题。方法:一、制备V2O5溶胶;二、沉积成膜。本发明用于溶胶‑凝胶法制备五氧化二钒薄膜。

    一种溶胶-凝胶法制备五氧化二钒薄膜的方法

    公开(公告)号:CN113401942B

    公开(公告)日:2022-06-07

    申请号:CN202110721604.5

    申请日:2021-06-28

    IPC分类号: C01G31/02

    摘要: 一种溶胶‑凝胶法制备五氧化二钒薄膜的方法,本发明涉及一种制备五氧化二钒薄膜的方法。本发明解决现有真空蒸镀法与溅射法制备的V2O5薄膜存在氧空位较多、工艺稳定性差、沉积速率低,含有低价态的钒氧化物的问题;溶胶‑凝胶法制备V2O5薄膜时需要高温熔融V2O5粉末,陈化时间长,制备周期长,薄膜通常粗糙多孔,质量不高的问题。方法:一、制备V2O5溶胶;二、沉积成膜。本发明用于溶胶‑凝胶法制备五氧化二钒薄膜。