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发明公开
超声换能器等效参数数值的确定方法及系统审中-实审

公开(公告)号：CN118455054A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410694643.4

申请日：2024-05-31

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 隆志力 , 姚勉 , 李洪泉 , 叶书苑

IPC: B06B3/00 , G06F17/10 , H01L21/607

Abstract: 本申请涉及一种超声换能器等效参数数值的确定方法及系统。超声换能器等效参数数值的确定方法包括：基于预设的超声换能器的工作参数驱动超声换能器；获取超声换能器的阻抗数值；基于第一预设算法和阻抗数值确定超声换能器的第一等效参数数值；基于第二预设算法和第一等效参数数值确定超声换能器的第二等效参数数值，第二等效参数数值的精度大于第一等效参数数值。通过第一预设算法和阻抗数值确定超声换能器的第一等效参数数值，从而获得超声换能器的工作状态，进而可以依据工作状态调节超声换能器，最终可以更精准地控制引线键合，提高芯片封装精准度。

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