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公开(公告)号:CN102981023A
公开(公告)日:2013-03-20
申请号:CN201210473948.X
申请日:2012-11-21
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01Q60/30
Abstract: 一种静电力显微镜测量表面电势的方法,涉及一种静电力显微镜测量表面电势的方法,解决了开尔文显微镜表面电势测量范围有限的问题。步骤为:调整静电力显微镜,使静电力显微镜正常工作于静电力相位差成像状态;选取待测位置点,对待测位置点进行扫描;在扫描过程中,调整显微镜导电探针针尖电压VEFM值,使其在-12V~+12V范围内变化;记录该针尖电压VEFM值及测量获得的相位差Δθ;将记录的所有数据作为测量数据存储;根据测量数据进行曲线拟合;根据拟合得到的曲线建立显微镜导电探针针尖电压VEFM值与相位差Δθ的关系,根据关系得出相位差Δθ为最小值时显微镜导电探针针尖电压VEFM值即为测量位置的表面电势。本发明可广泛应用于对微纳米尺度范围表面电势测量的情况。