公开(公告)号：CN102981023A

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201210473948.X

申请日：2012-11-21

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 孙志 ,  韩柏 ,  宋伟 ,  张冬 ,  郭翔宇 ,  李振凯 ,  王暄 ,  雷清泉

IPC: G01Q60/30

Abstract: 一种静电力显微镜测量表面电势的方法，涉及一种静电力显微镜测量表面电势的方法，解决了开尔文显微镜表面电势测量范围有限的问题。步骤为：调整静电力显微镜，使静电力显微镜正常工作于静电力相位差成像状态；选取待测位置点，对待测位置点进行扫描；在扫描过程中，调整显微镜导电探针针尖电压VEFM值，使其在-12V~+12V范围内变化；记录该针尖电压VEFM值及测量获得的相位差Δθ；将记录的所有数据作为测量数据存储；根据测量数据进行曲线拟合；根据拟合得到的曲线建立显微镜导电探针针尖电压VEFM值与相位差Δθ的关系，根据关系得出相位差Δθ为最小值时显微镜导电探针针尖电压VEFM值即为测量位置的表面电势。本发明可广泛应用于对微纳米尺度范围表面电势测量的情况。