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公开(公告)号：CN101438091B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200680054549.2
申请日：2006-06-02
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F17D1/04 , Y10T137/87177 , Y10T137/87885
Abstract: 小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12—17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2—6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。
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公开(公告)号：CN101438091A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200680054549.2
申请日：2006-06-02
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F17D1/04 , Y10T137/87177 , Y10T137/87885
Abstract: 小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12－17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2－6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。
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公开(公告)号：CN116288130A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310440218.8
申请日：2019-10-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , CKD株式会社
Abstract: 本发明提供一种粉末供给装置及喷镀装置。该粉末供给装置用于自送料器向喷嘴供给粉末,该粉末供给装置包括:盒部,其具有:口部,其用于放入、取出粉末；以及开闭阀,其用于开闭上述口部,并且该盒部在气密状态下收纳上述粉末；补给器,其具有:容纳部,其用于可装卸地容纳上述盒部；补给口,其用于将容纳于上述容纳部的上述盒部内的上述粉末补给至上述送料器；以及开闭阀,其用于开闭上述补给口；以及送料器,其用于将自上述补给口补给的上述粉末投入上述喷嘴,上述盒部以及上述补给器通过在上述补给器中容纳上述盒部,从而在上述口部与上述补给口之间形成密闭空间。
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公开(公告)号：CN112930416A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201980069561.8
申请日：2019-10-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , CKD株式会社
Abstract: 本发明提供一种粉末供给装置,其用于自送料器向喷嘴供给粉末,该粉末供给装置包括:盒部,其具有:口部,其用于放入、取出粉末；以及开闭阀,其用于开闭上述口部,并且该盒部用于在气密状态下收纳上述粉末；以及送料器,其具有:连接部,其用于可装卸地连接上述盒部；补给口,其用于将与上述连接部连接的上述盒部内的上述粉末补给至上述送料器内；以及开闭阀,其用于开闭上述补给口,并且该送料器用于将自上述补给口补给的上述粉末投入上述喷嘴,上述盒部以及上述送料器通过上述盒部连接于上述连接部,从而在上述口部与上述补给口之间形成密闭空间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101295186A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200810089941.1
申请日：2008-04-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , CKD株式会社
CPC classification number: G05D23/19
Abstract: 一种温度控制装置，通过在配置于被控对象附近的调温部(11)使流体循环来预期地控制被控对象的温度，其包括：加热流体并使流体在调温部(11)循环的加热通路(40)；冷却流体并使流体在调温部(11)循环的冷却通路(20)；使流体在调温部(11)循环而不通过加热通路(40)及冷却通路(20)的旁通路(30)；以及对来自加热通路(40)、冷却通路(20)、旁通路(30)通过对它们进行汇流的汇流部(12)向调温部(11)输出流体的流量比进行调节的调节装置(44，24，34)。调节装置(44，24，34)位于加热通路(40)，冷却通路(20)，旁通路(30)的各下游侧且设置在汇流部(12)的上游侧。
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公开(公告)号：CN112930416B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN201980069561.8
申请日：2019-10-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , CKD株式会社
Abstract: 本发明提供一种粉末供给装置,其用于自送料器向喷嘴供给粉末,该粉末供给装置包括:盒部,其具有:口部,其用于放入、取出粉末；以及开闭阀,其用于开闭上述口部,并且该盒部用于在气密状态下收纳上述粉末；以及送料器,其具有:连接部,其用于可装卸地连接上述盒部；补给口,其用于将与上述连接部连接的上述盒部内的上述粉末补给至上述送料器内；以及开闭阀,其用于开闭上述补给口,并且该送料器用于将自上述补给口补给的上述粉末投入上述喷嘴,上述盒部以及上述送料器通过上述盒部连接于上述连接部,从而在上述口部与上述补给口之间形成密闭空间。
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公开(公告)号：CN101295186B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN200810089941.1
申请日：2008-04-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , CKD株式会社
CPC classification number: G05D23/19
Abstract: 一种温度控制装置，通过在配置于被控对象附近的调温部(11)使流体循环来预期地控制被控对象的温度，其包括：加热流体并使流体在调温部(11)循环的加热通路(40)；冷却流体并使流体在调温部(11)循环的冷却通路(20)；使流体在调温部(11)循环而不通过加热通路(40)及冷却通路(20)的旁通路(30)；以及对来自加热通路(40)、冷却通路(20)、旁通路(30)通过对它们进行汇流的汇流部(12)向调温部(11)输出流体的流量比进行调节的调节装置(44，24，34)。调节装置(44，24，34)位于加热通路(40)，冷却通路(20)，旁通路(30)的各下游侧且设置在汇流部(12)的上游侧。
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公开(公告)号：CN101023290A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200580031563.6
申请日：2005-09-05
CPC classification number: F16K27/003 , F15B13/0807 , Y10T29/49405 , Y10T137/2587
Abstract: 本发明提供了一种流程块，其压力损失得以减小，并且可以形成超长流程，而且其重量可以减轻。还提供了生产这种流程块的方法。流程块(1)具有块体(11)和盖子元件(12)，该块体内形成有通孔(21)和与该通孔(21)相通的凹槽(22)，盖子元件(12)盖住该凹槽(22)。用切削工具调节凹槽(22)的深度和宽度可以减小压力损失，用切削工具形成更长的凹槽(22)并用盖子元件(12)盖住凹槽(22)可以形成超长流程，因为可以用切削工具自由地形成凹槽(22)，因此可以形成复杂流程，并且可以减小块体(11)的厚度以减轻其重量。
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公开(公告)号：CN302504919S
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201330020217.5
申请日：2013-01-10
Applicant: 喜开理株式会社
Abstract: 1.本外观设计产品名称为液体控制装置汽化器用汽化用具。2.本外观设计产品是用在半导体制造设备中的液体控制装置汽化器用汽化用具，用于控制液体的汽化和扩散。本产品由弹性金属网重叠而成。在使用时，本产品紧贴在汽化器的液体供给表面，如设计1使用状态参考图和设计2使用状态参考图中的箭头所示。3.本外观设计的设计要点：重叠的弹性金属网以及金属网前侧的板。4.本外观设计包括二项相似外观设计，设计1为基本设计。5.设计1立体图为本外观设计的代表图。6.各设计的左视图与右视图对称，省略各设计的左视图；各设计的仰视图与俯视图对称，省略各设计的仰视图。
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