公开(公告)号：CN103087718B

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201310015080.3

申请日：2013-01-16

申请人： 四川大学

发明人： 余萍 ,  陈潇洋 ,  樊明雷 ,  朱建国 ,  张小山

IPC分类号： C09K13/08

摘要： 一种湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液，由双氧水、硝酸、氢氟酸和纯净水配制而成，纯净水、双氧水、硝酸、氢氟酸的体积比为：纯净水∶双氧水∶硝酸∶氢氟酸＝1∶2～3∶0.5～1.0∶0.06～0.12。所述腐蚀液的制备方法，按上述配方在常温、常压下将计量好的纯净水与双氧水混合均匀，然后加入计量好的硝酸并混合均匀，继后加入计量好的氢氟酸并混合均匀。所述腐蚀液可干净、彻底地一次性去除SiO2 和/或Pt表面的LNO薄膜或LNO复合薄膜，得到边缘清晰、侧蚀比小的刻蚀图形。

公开(公告)号：CN102557634B

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201210012882.4

申请日：2012-01-16

申请人： 四川大学

发明人： 余萍 ,  张小山 ,  李军 ,  孙晓剑 ,  樊明雷

IPC分类号： C04B35/49 ,  C04B35/622

摘要： 一种多组分微量共掺杂锆钛酸锶钡基微粉制备方法，工艺步骤如下：(1)配制含Ba、Sr离子的溶液；(2)配制含Zr离子的溶液，或配制含Zr离子和掺杂金属离子的溶液；(3)配制含Ti离子的溶液；(4)配制前驱液，将上述步骤(1)、(2)、(3)所配制的三种溶液，在室温、常压下混合搅拌，并加入冰乙酸，使溶液中Ba1-x-ySrxMyTi1-zZrzO3+y/2，或Ba1-xSrxTi1-y-zM’yZrzO3-y/2的浓度为0.1M，混合搅拌时间至少为10分钟，所形成的澄清透明混合液即为Ba1-x-ySrxMyTi1-zZrzO3+y/2，或Ba1-xSrxTi1-y-zM’yZrzO3-y/2的前驱液；(5)聚合反应；(6)凝胶的干燥与焙烧。

公开(公告)号：CN102557634A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201210012882.4

申请日：2012-01-16

申请人： 四川大学

发明人： 余萍 ,  张小山 ,  李军 ,  孙晓剑 ,  樊明雷

IPC分类号： C04B35/49 ,  C04B35/622

摘要： 一种多组分微量共掺杂锆钛酸锶钡基微粉制备方法，工艺步骤如下：(1)配制含Ba、Sr离子的溶液；(2)配制含Zr离子的溶液，或配制含Zr离子和掺杂金属离子的溶液；(3)配制含Ti离子的溶液；(4)配制前驱液，将上述步骤(1)、(2)、(3)所配制的三种溶液，在室温、常压下混合搅拌，并加入冰乙酸，使溶液中Ba1-x-ySrxMyTi1-zZrzO3+y/2，或Ba1-xSrxTi1-y-zM’yZrzO3-y/2的浓度为0.1M，混合搅拌时间至少为10分钟，所形成的澄清透明混合液即为Ba1-x-ySrxMyTi1-zZrzO3+y/2，或Ba1-xSrxTi1-y-zM’yZrzO3-y/2的前驱液；(5)聚合反应；(6)凝胶的干燥与焙烧。

公开(公告)号：CN103087718A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201310015080.3

申请日：2013-01-16

申请人： 四川大学

发明人： 余萍 ,  陈潇洋 ,  樊明雷 ,  朱建国 ,  张小山

IPC分类号： C09K13/08

摘要： 一种湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液，由双氧水、硝酸、氢氟酸和纯净水配制而成，纯净水、双氧水、硝酸、氢氟酸的体积比为：纯净水∶双氧水∶硝酸∶氢氟酸＝1∶2～3∶0.5～1.0∶0.06～0.12。所述腐蚀液的制备方法，按上述配方在常温、常压下将计量好的纯净水与双氧水混合均匀，然后加入计量好的硝酸并混合均匀，继后加入计量好的氢氟酸并混合均匀。所述腐蚀液可干净、彻底地一次性去除SiO2 和/或Pt表面的LNO薄膜或LNO复合薄膜，得到边缘清晰、侧蚀比小的刻蚀图形。