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公开(公告)号：CN113415978A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202110752145.7
申请日：2021-07-03
申请人： 四川神光石英科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种耐辐照石英玻璃的制备方法及制备用坩埚和料架,目的是解决现有石英玻璃无法经受激光的多频次长周期照射而出现损伤破坏的技术问题。耐辐照石英玻璃的制备方法，包括如下步骤：S1，槽沉锭料预处理；S2，调节槽沉炉内至微正压氢气氛围，槽沉锭料置于槽沉炉内高温摊铺成摊成光学石英玻璃毛坯，同步预氢化处理；S3，维持炉内微正压氢气氛围，将光学石英玻璃毛坯随炉降温至一定温度；S4，增大氢气供给，提高炉内压力至一定压力后，对光学石英玻璃毛坯进行保温保压氢化处理；S5，维持氢气氛围，光学石英玻璃毛坯随炉慢降温，开炉得到成品。本发明提升了材料内部氢分子浓度，有效提高石英玻璃材料的耐辐照性能。
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公开(公告)号：CN113415978B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202110752145.7
申请日：2021-07-03
申请人： 四川神光石英科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种耐辐照石英玻璃的制备方法及制备用坩埚和料架,目的是解决现有石英玻璃无法经受激光的多频次长周期照射而出现损伤破坏的技术问题。耐辐照石英玻璃的制备方法，包括如下步骤：S1，槽沉锭料预处理；S2，调节槽沉炉内至微正压氢气氛围，槽沉锭料置于槽沉炉内高温摊铺成摊成光学石英玻璃毛坯，同步预氢化处理；S3，维持炉内微正压氢气氛围，将光学石英玻璃毛坯随炉降温至一定温度；S4，增大氢气供给，提高炉内压力至一定压力后，对光学石英玻璃毛坯进行保温保压氢化处理；S5，维持氢气氛围，光学石英玻璃毛坯随炉慢降温，开炉得到成品。本发明提升了材料内部氢分子浓度，有效提高石英玻璃材料的耐辐照性能。
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公开(公告)号：CN113443820A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202110752142.3
申请日：2021-07-03
申请人： 四川神光石英科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种用于石英玻璃渗氢工艺的料架、反应釜及装置，涉及光刻级熔石英玻璃材料生产领域。本发明的料架包括圆筒状的外壳，外壳内设有与其连接的杆状结构的支撑件，外壳上均匀布满若干进气孔；本发明的反应釜包括密闭容腔，密闭容腔中设有用于加热的加热组件，密闭容腔内设有料架；本发明的装置包括反应釜、用于对反应釜抽真空的真空系统、用于将氮气或氢气充入反应釜内的充气系统以及用于排出并燃烧反应釜内氢气的氢气燃烧系统，石英玻璃在支撑件上完成渗氢工艺。
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公开(公告)号：CN113387550A
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202110752144.2
申请日：2021-07-03
申请人： 四川神光石英科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种提高石英玻璃均匀性的方法,目的是解决现有技术中成品合成石英玻璃均匀性低的技术问题。该方法具体包括：预处理原料：原料经水解后制成合成石英玻璃的砣料；处理坨料，对坨料表面进行清洁，得到备用品；加工备用品，备用品进行槽沉成型、均化以及慢降温后，制成坯料，所述均化为坯料内部分子在热泳效应以及微正压下均匀分布的过程；制备成品，坯料进行成型加工处理后制成成品。
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公开(公告)号：CN215250401U
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202121598153.2
申请日：2021-07-14
申请人： 四川神光石英科技有限公司 , 大有科工数字技术(北京)有限公司
摘要： 本实用新型属于沉积炉燃烧器领域。本实用新型公开了一种沉积炉燃烧器的安装定位辅助组件，用于沉积炉内的燃烧器安装，所述燃烧器的进料管为单根直管，包括激光定位工装和角度计算工装。所述激光定位工装与所述燃烧器的进料管连接，其发送的激光束与所述进料管的轴向中心线重合，用于标记所述燃烧器的上料流向；所述角度计算工装放置在所述沉积炉的下方，其朝向所述沉积炉的顶面具有基准中心；所述角度计算工装的顶面与所述沉积炉的轴向中心线垂直，所述基准中心与所述沉积炉的支撑柱的轴向中心线重合。该安装定位辅助组件可直观地观察到燃烧器的上料流向并计算出氢氧焰入射角。
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公开(公告)号：CN210236870U
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201920809676.3
申请日：2019-05-31
申请人： 四川神光石英科技有限公司
IPC分类号： B66C1/44
摘要： 本实用新型公开了一种石英砣转移用的吊具，包括夹持机构和抱紧机构，所述夹持机构呈剪叉结构，朝向抱紧机构接触的两端与抱紧机构可拆卸式连接，所述抱紧机构固定在石英砣表面，其内径等于或者略小于石英砣的尺寸并具有微膨胀变形区。所述抱紧机构的数量为1~3个；当抱紧机构为2或3个时，呈上下位置关系间隔设置，所述夹持机构两端同时与全部抱紧机构连接。本实用新型为提供了一种石英砣转移用的吊具，采用机械机构抓取，可避免烫伤事故发生，转移安全系数高。
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公开(公告)号：CN210001764U
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201920798751.0
申请日：2019-05-30
申请人： 四川神光石英科技有限公司
IPC分类号： C03B20/00
摘要： 本实用新型提供一种紫外熔石英玻璃熔制用燃烧装置，包括燃烧炉本体，所述燃烧炉本体右端固定连接用于提供气体的连接管，所述连接管右端固定连接用于气体混合的混合箱，所述混合箱右端固定连接至少两个进气管，所述混合箱固定连接在固定板上端，所述连接管环形外侧设置用于冷却的第一螺旋管，所述第一螺旋管设置在套筒内部，所述套筒左部前端设置进液管一且进液管一后端穿过套筒并与第一螺旋管进行连通，所述套筒右部后端设置出液管一且出液管一前端穿过套筒并与第一螺旋管进行连通，该设计利用混合箱进行气体混合，提升燃烧效率，另外利用第一螺旋管实现冷却功能，有效防止连接管受损，安全性高。
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公开(公告)号：CN214022717U
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN202121670112.X
申请日：2021-07-22
申请人： 四川神光石英科技有限公司
摘要： 本实用新型为解决现有技术中手动矫正支撑杆存在的费时费力的问题，公开了一种制砣机支撑杆的矫正机构，用于对制砣机的支撑杆进行位置调节，所述矫正机构包括第一缸体、缸盖、第二缸体、弹簧、柱塞和限位环，第一缸体、缸盖和第二缸体依次连接，柱塞穿设在第一缸体、缸盖和第二缸体组合结构内，弹簧和限位环安装在柱塞上，柱塞和缸盖构成滑动接触密封结构；向所述第二空腔内注入液压介质，可驱使柱塞向远离第一缸体的方向移动，抵住支撑杆后使其发生位移，实现调节。矫正系统包括矫正机构和液压站。本实用新型提供一种制砣机支撑杆的矫正机构及矫正系统，相比于现有手动扭螺栓调节的方式，效率和调节精度大大提升，劳动强度减轻。
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公开(公告)号：CN210528769U
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201920754112.4
申请日：2019-05-23
申请人： 四川神光石英科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种石英砣料沉积面可自动稳定控制的沉积装置，属于合成石英玻璃制备技术领域，包括沉积炉和打砣机，所述沉积炉上设置观察孔，所述观察孔所在平面对应的沉积炉侧壁上相对安装激光发生器和激光接收器；装置还包括控制器和显示器，所述控制器与激光发生器和激光接收器进行通讯并控制沉积炉的原料进料量和打砣机的移动速度，所述显示器接受控制器的信号并显示沉积炉内状态。本实用新型提供了一种石英砣料沉积面可自动稳定控制的沉积装置，解决砣料砣径等径度差异、保护工作人员视力，减少不必要的误操作，提高砣料品质。
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公开(公告)号：CN210047872U
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201920787117.7
申请日：2019-05-29
申请人： 四川神光石英科技有限公司
摘要： 本实用新型提供一种紫外熔石英玻璃的放置架，包括下夹板，所述下夹板侧端中间位置固定连接板二，所述连接板二上端固定支撑柱，所述支撑柱上端转动安装导向杆，所述支撑柱环形侧端通过螺纹安装锁紧圆筒，所述锁紧圆筒通过螺纹安装在导向杆环形侧端，所述导向杆环形侧端上部位置套装套板，所述套板左右两端分别安装上夹板以及锁紧螺栓，所述上夹板设在下夹板正上方，所述锁紧螺栓穿过套板且与导向杆贴合，本实用新型便于折叠收纳，从而减小了占用空间，提高了使用灵活性。
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