公开(公告)号：CN104965538B

公开(公告)日：2018-04-13

申请号：CN201510392351.6

申请日：2015-07-06

申请人： 四川英杰电气股份有限公司 ,  卜俊鹏

发明人： 王军 ,  卜俊鹏

IPC分类号： G05D23/19

摘要： 本发明涉及一种晶体生长过程的加热电源控制方法。在所述晶体的熔料阶段和/或退火阶段，加热电源采用周期脉冲控制；所述周期脉冲控制是指，将所述加热电源的输出功率幅值及脉冲周期固定，通过调节每个脉冲周期内的脉冲占空比控制所述加热电源的每个脉冲周期内的输出功率。本发明通过控制加热电源在退火阶段采用周期脉冲控制方式降低能耗，达到能效果。本发明适用于晶体生长领域电源，特别适用于蓝宝石晶体生长加热电源的控制。

公开(公告)号：CN104965538A

公开(公告)日：2015-10-07

申请号：CN201510392351.6

申请日：2015-07-06

申请人： 王军 ,  卜俊鹏

发明人： 王军 ,  卜俊鹏

IPC分类号： G05D23/19

摘要： 本发明涉及一种晶体生长炉加热电源的控制方法。在所述晶体的熔料阶段和/或退火阶段，加热电源采用周期脉冲控制；所述周期脉冲控制是指，将所述加热电源的输出功率幅值及脉冲周期固定，通过调节每个脉冲周期内的脉冲占空比控制所述加热电源的每个脉冲周期内的输出功率。本发明通过控制加热电源在退火阶段采用周期脉冲控制方式降低能耗，达到能效果。本发明适用于晶体生长领域电源，特别适用于蓝宝石晶体生长加热电源的控制。

公开(公告)号：CN102114628A

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：CN200910266114.X

申请日：2009-12-30

申请人： 卜俊鹏

发明人： 卜俊鹏

IPC分类号： B25J9/08 ,  B25J15/06

摘要： 一种真空机械手由真空腔体，变形盘及指状夹持杆组成，变形盘密封地固定在真空腔端面；夹持杆固定地安装在变形盘边缘。当抽真空时，变形盘在大气压作用下产生向内变形，这使固连在变形盘边缘上的指状夹持杆也向中心倾斜，使指状夹持杆端头凹槽或环形浅槽间的距离变小，从而实现对基片边缘的夹持；断开真空指状夹持杆端头间的距离变大，真空机械手释放基片。由于夹持与释放基片，真空机械手都不与基片表面接触，因而不会对基片表面造成沾污；且本发明的真空机械手结构简洁，夹持可靠，控制、使用方便，因而本发明的真空机械手非常适合半导体自动生产线应用。