具有可加热的气体选择性渗透膜的气体传感器

    公开(公告)号:CN101460820B

    公开(公告)日:2010-10-27

    申请号:CN200780020186.5

    申请日:2007-05-04

    IPC分类号: G01M3/20

    CPC分类号: G01M3/205

    摘要: 本发明涉及一种具有选择性渗透膜(13)的气体传感器,选择性渗透膜(13)由硅材料构成并且在其外侧上具有加热装置(20)。所述膜(13)封闭真空外壳,所述外壳包含压力传感器。在对外壳的周围区域抽真空时,由于周围空气的总压力快速变化引起热耗散变化,导致即使调节膜(13)的温度,还是出现信号漂移。本发明提供至少一个第二加热装置(21、22),其温度调节独立于第一加热装置(20)。因此,即使在所述外壳中总压力剧烈变化的情况下膜温度也高度恒定。

    具有检漏头探针的测漏器

    公开(公告)号:CN100588932C

    公开(公告)日:2010-02-10

    申请号:CN200580043681.9

    申请日:2005-11-29

    IPC分类号: G01M3/20

    CPC分类号: G01M3/202 G01M3/205

    摘要: 本发明涉及一种测漏器,包括具有检漏头尖端(12)的手持装置(11)。在检漏头尖端(12)上设置有用于检测从测试物体到检漏头尖端所限定距离的距离检测器(40)。仅当检漏头尖端和测试物体之间的距离正确时才开始测试操作,因此避免了由于检漏头探针(10)错误的手动定位引起的测量误差。测漏器还能设置有加速度检测器(33),该加速度检测器仅在检漏头探针(10)保持稳定时才允许进行测试。

    具有检漏头探针的测漏器

    公开(公告)号:CN101084424A

    公开(公告)日:2007-12-05

    申请号:CN200580043681.9

    申请日:2005-11-29

    IPC分类号: G01M3/20

    CPC分类号: G01M3/202 G01M3/205

    摘要: 本发明涉及一种测漏器,包括具有检漏头尖端(12)的手持装置(11)。在检漏头尖端(12)上设置有用于检测从测试物体到检漏头尖端所限定距离的距离检测器(40)。仅当检漏头尖端和测试物体之间的距离正确时才开始测试操作,因此避免了由于检漏头探针(10)错误的手动定位引起的测量误差。测漏器还能设置有加速度检测器(33),该加速度检测器仅在检漏头探针(10)保持稳定时才允许进行测试。

    具有可加热的气体选择性渗透膜的气体传感器

    公开(公告)号:CN101460820A

    公开(公告)日:2009-06-17

    申请号:CN200780020186.5

    申请日:2007-05-04

    IPC分类号: G01M3/20

    CPC分类号: G01M3/205

    摘要: 本发明涉及一种具有选择性渗透膜(13)的气体传感器,选择性渗透膜(13)由硅材料构成并且在其外侧上具有加热装置(20)。所述膜(13)封闭真空外壳,所述外壳包含压力传感器。在对外壳的周围区域抽真空时,由于周围空气的总压力快速变化引起热耗散变化,导致即使调节膜(13)的温度,还是出现信号漂移。本发明提供至少一个第二加热装置(21、22),其温度调节独立于第一加热装置(20)。因此,即使在所述外壳中总压力剧烈变化的情况下膜温度也高度恒定。