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公开(公告)号：CN113514534B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202110763611.1
申请日：2021-07-06
申请人： 国合通用测试评价认证股份公司 , 国标(北京)检验认证有限公司
摘要： 本发明涉及一种应用辉光放电质谱分析小尺寸导电和非导电材料的方法，属于材料分析领域。该方法先将石墨粉置于铝杯中，轻轻振荡铝杯，使石墨粉表面平整；将小尺寸导电材料或非导电材料置于石墨粉上；盖上数层硫酸纸；用压片机压紧，制成测试样品；进行直流辉光放电质谱分析。采用本发明的分析方法，无需研磨、无需烧结、无需加热，前处理简单，避免了污染；避免了以金属作为导电介质时，不能测定该金属元素的问题，及由该金属元素形成的质谱干扰；缩短了分析时间，提高了分析效率；能适合屑状、颗粒状、粉末状等小尺寸导电材料以及细颗粒状、粉末状非导电材料的分析，普适性强，应用范围广；具有很好的放电稳定性、分析重复性、分析准确性。
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公开(公告)号：CN113514534A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110763611.1
申请日：2021-07-06
申请人： 国合通用测试评价认证股份公司 , 国标(北京)检验认证有限公司
摘要： 本发明涉及一种应用辉光放电质谱分析小尺寸导电和非导电材料的方法，属于材料分析领域。该方法先将石墨粉置于铝杯中，轻轻振荡铝杯，使石墨粉表面平整；将小尺寸导电材料或非导电材料置于石墨粉上；盖上数层硫酸纸；用压片机压紧，制成测试样品；进行直流辉光放电质谱分析。采用本发明的分析方法，无需研磨、无需烧结、无需加热，前处理简单，避免了污染；避免了以金属作为导电介质时，不能测定该金属元素的问题，及由该金属元素形成的质谱干扰；缩短了分析时间，提高了分析效率；能适合屑状、颗粒状、粉末状等小尺寸导电材料以及细颗粒状、粉末状非导电材料的分析，普适性强，应用范围广；具有很好的放电稳定性、分析重复性、分析准确性。
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公开(公告)号：CN216928486U
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202122415104.7
申请日：2021-10-08
申请人： 国标(北京)检验认证有限公司 , 国合通用测试评价认证股份公司
摘要： 本实用新型涉及一种用于辉光放电质谱仪测试的小尺寸样品用夹具，属于辉光放电质谱仪测试技术领域。该用于辉光放电质谱仪测试小尺寸样品用夹具包括夹具本体和螺丝旋杆，夹具本体上设置一个圆槽，圆槽呈圆柱形，圆槽侧壁设置螺纹通孔，螺丝旋杆通过螺纹通孔螺纹连接在夹具本体上。通过在夹具本体上开设圆槽，可以测试小尺寸块状样品。圆槽侧壁连接螺丝，调节小尺寸样品位置，使样品表面与夹具本体表面齐平，螺丝旋紧可将小尺寸块状样品固定在圆槽内。本实用新型的夹具结构设计简单合理，操作简单，使用范围广，使用更方便。
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公开(公告)号：CN113155945A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202110228445.5
申请日：2021-03-02
申请人： 国合通用测试评价认证股份公司
IPC分类号： G01N27/68
摘要： 本发明涉及一种定量测定单晶硅中替位碳的方法，属于半导体检测领域。将单晶硅标准样品制成棒状参考样，用氢氟酸和硝酸浸泡腐蚀，用去离子水超声清洗，反复若干次，将冲洗后的硅棒用高纯氮气吹干或烘干；采用低压源直流辉光放电质谱法，优化放电条件，采集C的离子信号计数值，将离子信号计数值与对应的参考样标示值进行关联来校准仪器的相对灵敏度因子，得到校准后的相对灵敏度因子；采用相同的方法制备单晶硅待测样品的棒状测试样品，采用低压源直流辉光放电质谱法在相同条件下进行检测，得到待测样品中C的离子信号计数值，计算得到待测样品中C的准确含量。本发明的方法样品用量少、灵敏度高、检出限低、精密度高、准确度好、同时简单易操作。
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