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公开(公告)号：CN116978932A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202311172938.7
申请日：2023-09-12
Applicant: 国家电网有限公司 , 国网智能电网研究院有限公司 , 杭州优捷敏半导体技术有限公司
IPC: H01L29/40 , H01L29/06 , H01L23/552
Abstract: 本发明提供一种高压终端，在功率管的外圈设有复数个复合场板‑场限环终端结构，在两个相邻的复合场板之间有半绝缘多晶硅层，每个复合场板不仅往外伸，也往里伸；相邻的两个复合场板之间的间距为10‑14μm；在多晶硅场板的上面设有热分解氧化层，热分解氧化层的上面设有半绝缘多晶硅；金属铝场板与P+型场限环相连、与多晶硅场板的上表面和半绝缘多晶硅层的上表面相连。本发明能够显著提高高温潮湿的环境中功率管的长期可靠性。
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