公开(公告)号：CN108538765A

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201810433250.2

申请日：2018-05-08

申请人： 国家纳米科学中心 ,  中国科学院大学

发明人： 刘鹏冲 ,  李鹏 ,  刘薇 ,  裘晓辉

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/027

摘要： 本发明实施例公开了一种刻蚀装置以及图形的转移方法，该刻蚀装置包括：原子力显微镜，所述原子力显微镜包括导电探针；以及，导电探针电子束电场产生模块，包括电流控制单元，所述电流控制单元的电信号输出端用于产生使得所述导电探针尖端发射场发射电子束的电信号。本发明实施例的技术方案通过原子力显微镜的导电探针尖端发射场发射电子束对待刻蚀样品表面的有机层进行刻蚀形成预设图形，并将预设图形通过等离子体刻蚀方法转移到待刻蚀样品表面，降低了制备成本，并且提高了刻蚀图形的分辨率。

公开(公告)号：CN108538765B

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN201810433250.2

申请日：2018-05-08

申请人： 国家纳米科学中心 ,  中国科学院大学

发明人： 刘鹏冲 ,  李鹏 ,  刘薇 ,  裘晓辉

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/027

摘要： 本发明实施例公开了一种刻蚀装置以及图形的转移方法，该刻蚀装置包括：原子力显微镜，所述原子力显微镜包括导电探针；以及，导电探针电子束电场产生模块，包括电流控制单元，所述电流控制单元的电信号输出端用于产生使得所述导电探针尖端发射场发射电子束的电信号。本发明实施例的技术方案通过原子力显微镜的导电探针尖端发射场发射电子束对待刻蚀样品表面的有机层进行刻蚀形成预设图形，并将预设图形通过等离子体刻蚀方法转移到待刻蚀样品表面，降低了制备成本，并且提高了刻蚀图形的分辨率。