专利检索 ap:("国电投核力创芯(无锡)科技有限公司") AND inv:"陈凯" 第 1 页

1.

发明公开
一种用于晶圆质子辐照系统的联锁式辐射屏蔽装置及方法审中-实审

公开(公告)号：CN118507097A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202410482696.X

申请日：2024-04-19

申请人： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司

发明人： 马超然 , 陈凯 , 桂正亚 , 于天华 , 徐安南 , 赵露 , 吴春辉

IPC分类号： G21F7/00 , G21F1/12

摘要： 本发明公开了一种用于晶圆质子辐照系统的联锁式辐射屏蔽装置及方法，所述装置包括：屏蔽仓；所述屏蔽仓呈凸形，用于遮盖偏转磁铁，屏蔽仓由屏蔽板制成，所述屏蔽板由聚乙烯板及铅板组合形成；所述屏蔽仓的底部设有驱动机构，所述驱动机构上还设有限位开关；所述限位开关安装位置与偏转磁铁对应。本发明通过设计由铅板及聚乙烯板组合形成侧屏蔽板进行制成屏蔽仓，单独对辅照系统的偏转磁铁部分进行屏蔽，与传统的屏蔽方式相比，避免了使用较多的屏蔽材料，极大的缩减了成本，同时对空间与环境要求较小，屏蔽仓轻便可移动，对屏蔽仓内部设备维护时也更容易，提高了安全性，同时将限位开关接入安全联锁控制器，增加了一层冗余。