一种SO3标准气体发生装置及标定方法

    公开(公告)号:CN107389272B

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN201710674122.2

    申请日:2017-08-09

    IPC分类号: G01M3/02 G01F25/10 G01N33/00

    摘要: 本发明公开了一种SO3标准气体发生装置及标定方法,发生装置包括气体发生系统和装置标定系统;气体发生系统包括SO2/N2高压混合气体管道、O2高压气体管道、N2高压气体管道、气体混合管道、去离子水管道、盘管式气体混合加热器、含有钒触媒的反应器、排气管道和SO3标准气体采集管道;各气体管道分别设有减压阀和气体质量流量计,去离子水管道设有平流泵;装置标定系统包括分别设于各气体质量流量计前后与气体管道连通的校准管道;各气体管道上于气体质量流量计后的校准管道、气体混合管道之间分别设有球阀;各校准管道分别设有球阀;去离子水管道设有球阀,球阀前的管道连通有排水管道,排水管道上设有球阀;排气管道和SO3标准气体采集管道设有球阀。