一种用于无线通信系统的压电薄膜体声波谐振器

    公开(公告)号:CN204425294U

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201520070721.X

    申请日:2015-01-30

    IPC分类号: H03H9/17

    摘要: 本实用新型公开了一种用于无线通信系统的压电薄膜体声波谐振器,在绝缘衬底上形成,包括分段为两个压电薄膜振动单元并包含上部电极、下部电极和压电薄膜的电薄膜振动器、连接部分和支撑件;压电薄膜振动器位于压电薄膜体声波谐振器顶端;上部电极分为左上部电极和右上部电极;下部电极分为左下部电极和右下部电极,下部电极和绝缘衬底间有间隙;上部电极和下部电极间为压电薄膜,压电薄膜分为三个压电薄膜段;连接部分位于中心位置;支撑件连接至连接部分的中心位置;薄膜压电振动器的振动节点位于中心位置;上部电极构成连接部分的前侧连接第一端子,下部电极构成连接部分的背面连接第二端子。

    用于无线通信系统的多层压电薄膜体声波谐振器

    公开(公告)号:CN204425293U

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201520070282.2

    申请日:2015-01-30

    IPC分类号: H03H9/17

    摘要: 本实用新型公开了用于无线通信系统的多层压电薄膜体声波谐振器,用DBAR表示,形成于衬底上,包括底部电极、顶部电极、第三电极、第一压电层、第二压电层、第一导线、第二导线和第三导线;底部电极形成于衬底上;第一压电层位于底部电极上方,由氮化铝压电材料制成;第三电极位于第一压电层上,由钨、钼或铝经过图案化成型而成;第二电压层位于第三电极上方,由氧化锌压电材料制成;顶部电极由钨、钼或铝图案化成型制成;DBAR上对应触点、第一导线、第二导线和第三导线分别对应地和底部电极、顶部电极和第三电极进行电性连接;第一压电层、第三电极、第二压电层和顶部电极图案化成型后形成DBAR。具有很强的实用性。