一种压电式MEMS麦克风、封装方法、压电陶瓷的制备方法

    公开(公告)号:CN118612644A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410722264.1

    申请日:2024-06-05

    Abstract: 一种压电式MEMS麦克风、封装方法、压电陶瓷的制备方法,所述麦克风包括:基底,环形构造以围设成第一音腔;第一压电振膜,为包括压电膜的三角形悬臂梁结构,底边固定于所述基底且三角形的尖端为自由端;第二压电振膜,通过圆形沟槽结构在所述三角形悬臂梁结构的底边区域分隔而出的独立振膜区域;封装壳体,容纳和固定所述基底、第一压电振膜和第二压电振膜,且与所述基底之间围设出第二音腔。本发明通过在KNN溶胶中加入过量K、Na元素以补偿后续挥发,配合Mn掺杂,有效避免了漏电流现象;本发明通过两种压电薄膜面积,保证灵敏度曲线在所述KNN压电薄膜的谐振频率有一个波动范围,从而提高谐振频率,进而提高灵敏度。

    一种变压器铁心噪声控制用超材料装置及其分析方法

    公开(公告)号:CN119296931A

    公开(公告)日:2025-01-10

    申请号:CN202411033171.4

    申请日:2024-07-30

    Abstract: 本发明公开了一种变压器铁心噪声控制用超材料装置及其分析方法,该变压器铁心噪声控制用超声材料装置安装于变压器铁心的前侧和后侧,包括:基板和安装在所述基板上的超材料层;所述超材料层包括多个元胞;每个元胞为中空管状结构;所述中空管状结构与延伸方向垂直的横截面具有余弦梁式构型;所述元胞位于所述基板和所述变压器铁心之间。本发明通过将元胞设置为具有余弦梁式构型,能够有利于提高变压器铁心噪声控制用超材料装置的低频线谱噪声振动控制效果,使得该装置在50~1000HZ范围内隔振效率在90%以上。

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