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实用新型
一种基于MEMS技术的真空度检测电路有权

公开(公告)号：CN214583805U

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202120333908.X

申请日：2021-02-05

Applicant: 国网河南省电力公司方城县供电公司 , 国网河南省电力公司南阳供电公司 , 河南省朗硕电力科技有限公司

Inventor： 赵帅 , 徐刚刚 , 余涛 , 彭凡 , 康红涛

IPC: G01L21/00

Abstract: 本实用新型提供一种基于MEMS技术的真空度检测电路，包括供电模块、压力传感器、单片机最小系统、人机交互模块及存储模块；所述单片机最小系统连接有所述压力传感器、所述存储模块；所述人机交互模块通过RS485模块与所述单片机最小系统连接；所述供电模块用于向所述基于MEMS技术的真空度检测电路供电；本实用新型采用压力传感器对真空度进行检测，不易受环境温度影响，能够准确的检测真空度，并将真空度显示在人机交互模块上，便于操作者读数。

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