公开(公告)号：CN1971300B

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200610163588.8

申请日：2006-10-20

申请人： 国际商业机器公司

发明人： 查尔斯·J·蒙特罗斯 ,  王平川 ,  罗伯特·D·爱德华兹 ,  罗伯特·A·格罗夫斯 ,  理查德·P·沃兰特 ,  哈里克里亚·德利吉亚尼 ,  托马斯·J·弗莱希曼

IPC分类号： G01R31/327 ,  H01H57/00

CPC分类号： H01H59/0009

摘要： 本发明提供多个用于在MEMS开关器件上进行可靠性和质量测试的测试结构。采用用于触点和间隙特性测量的测试结构，其使得迂回布局模拟上下致动电极的排。使用级联开关链测试以大样品尺寸监测工艺缺陷。使用环形振荡器测量开关速度和开关寿命。设置电阻器梯形测试结构以使得每个电阻器与要被测试的开关串联，和使得每个开关电阻器对电并联。利用与现有工艺的开关串联工作的MEMS开关而建立串联/并联测试结构。使用移位寄存器以监测MEMS开关的开放和闭合状态。使用移位寄存器测量吸合电压、脱离电压、漏电流和开关寿命。

公开(公告)号：CN1971300A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200610163588.8

申请日：2006-10-20

申请人： 国际商业机器公司

发明人： 查尔斯·J·蒙特罗斯 ,  王平川 ,  罗伯特·D·爱德华兹 ,  罗伯特·A·格罗夫斯 ,  理查德·P·沃兰特 ,  哈里克里亚·德利吉亚尼 ,  托马斯·J·弗莱希曼

IPC分类号： G01R31/327 ,  H01H57/00

CPC分类号： H01H59/0009

摘要： 本发明提供多个用于在MEMS开关器件上进行可靠性和质量测试的测试结构。采用用于触点和间隙特性测量的测试结构，其使得迂回布局模拟上下致动电极的排。使用级联开关链测试以大样品尺寸监测工艺缺陷。使用环形振荡器测量开关速度和开关寿命。设置电阻器梯形测试结构以使得每个电阻器与要被测试的开关串联，和使得每个开关电阻器对电并联。利用与现有工艺的开关串联工作的MEMS开关而建立串联/并联测试结构。使用移位寄存器以监测MEMS开关的开放和闭合状态。使用移位寄存器测量吸合电压、脱离电压、漏电流和开关寿命。