一种紫外LED外延结构及其生长方法

    公开(公告)号:CN111244237A

    公开(公告)日:2020-06-05

    申请号:CN202010043536.7

    申请日:2020-01-15

    IPC分类号: H01L33/06 H01L33/32 H01L33/00

    摘要: 本发明提供一种紫外LED外延结构及其生长方法,该外延结构包括多量子阱结构,多量子阱结构由下至上依次包括电子减速层、前置发光层以及后置发光层;其中,电子减速层包括至少一组由势阱层InaGa1-aN和势垒层AlxGa1-xN层叠设置而成的第一量子阱结构,前置发光层包括至少一组由势阱层InbGa1-b和势垒层AlyGa1-yN层叠设置而成的第二量子阱结构,后置发光层包括至少一组由势阱层IncGa1-cN和势垒层AlzGa1-zN层叠设置而成的第三量子阱结构,0.01

    一种紫外LED外延结构及其生长方法

    公开(公告)号:CN111244237B

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN202010043536.7

    申请日:2020-01-15

    IPC分类号: H01L33/06 H01L33/32 H01L33/00

    摘要: 本发明提供一种紫外LED外延结构及其生长方法,该外延结构包括多量子阱结构,多量子阱结构由下至上依次包括电子减速层、前置发光层以及后置发光层;其中,电子减速层包括至少一组由势阱层InaGa1‑aN和势垒层AlxGa1‑xN层叠设置而成的第一量子阱结构,前置发光层包括至少一组由势阱层InbGa1‑b和势垒层AlyGa1‑yN层叠设置而成的第二量子阱结构,后置发光层包括至少一组由势阱层IncGa1‑cN和势垒层AlzGa1‑zN层叠设置而成的第三量子阱结构,0.01