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公开(公告)号:CN102083888A
公开(公告)日:2011-06-01
申请号:CN200980121182.5
申请日:2009-04-09
申请人: 埃西勒国际通用光学公司 , 国家科学研究中心
IPC分类号: C08G77/04 , C08G77/10 , C09D183/06 , G03F7/075 , C08G77/14
CPC分类号: C08G77/14 , C08L83/06 , C09D183/06 , G03F7/0757
摘要: 本发明涉及可通过包括以下步骤的方法制备的光交联组合物:(a)[(环氧基环烷基)烷基]三烷氧基硅烷在pH 1.6-4.0的、含有水/单体初始摩尔比为3至15的水和至少一种与水可混溶性溶剂的有机水性介质中的溶液中,通过加热溶液至50-70℃180-350分钟进行水解和缩合反应,以获得有机-无机杂合预聚物的溶液,其中所有的或几乎所有的烷氧基硅烷基团水解,并且其包含平均至少4个(环氧基环烷基)烷基基团;(b)将所得的聚环氧化物预聚物组合物冷却至15至25℃的温度;(c)向该组合物中加入至少一种阳离子聚合反应光引发剂和至少一种最大吸收波长为300至420nm的光敏剂,并任选加入表面活性剂;(d)在15至25℃的温度下搅拌所得组合物10至120分钟;(e)所得组合物经过滤孔平均大小1μm至5μm的过滤器过滤,以及(f)将所得液体滤液在低于0℃,优选在-20℃至-10℃下保存。本发明还涉及所述光交联组合物在光刻方法中用作负性光敏树脂的用途。
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公开(公告)号:CN102083888B
公开(公告)日:2012-12-19
申请号:CN200980121182.5
申请日:2009-04-09
申请人: 埃西勒国际通用光学公司 , 国家科学研究中心
IPC分类号: C08G77/04 , C08G77/10 , C09D183/06 , G03F7/075 , C08G77/14
CPC分类号: C08G77/14 , C08L83/06 , C09D183/06 , G03F7/0757
摘要: 本发明涉及可通过包括以下步骤的方法制备的光交联组合物:(a)[(环氧基环烷基)烷基]三烷氧基硅烷在pH 1.6-4.0的、含有水/单体初始摩尔比为3至15的水和至少一种与水可混溶性溶剂的有机水性介质中的溶液中,通过加热溶液至50-70℃180-350分钟进行水解和缩合反应,以获得有机-无机杂合预聚物的溶液,其中所有的或几乎所有的烷氧基硅烷基团水解,并且其包含平均至少4个(环氧基环烷基)烷基基团;(b)将所得的聚环氧化物预聚物组合物冷却至15至25℃的温度;(c)向该组合物中加入至少一种阳离子聚合反应光引发剂和至少一种最大吸收波长为300至420nm的光敏剂,并任选加入表面活性剂;(d)在15至25℃的温度下搅拌所得组合物10至120分钟;(e)所得组合物经过滤孔平均大小1μm至5μm的过滤器过滤,以及(f)将所得液体滤液在低于0℃,优选在-20℃至-10℃下保存。本发明还涉及所述光交联组合物在光刻方法中用作负性光敏树脂的用途。
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