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发明公开
基于MEMS的偏光装置和方法审中-实审

公开(公告)号：CN113841080A

公开(公告)日：2021-12-24

申请号：CN202080036878.4

申请日：2020-04-16

申请人： 埃韦视觉有限公司

发明人： 施洛米·埃夫拉提 , 阿尔卡迪·布朗夫曼 , 塞米昂·科夫曼 , 法瑞斯·马杰 , 亚龙·齐默尔曼 , 鲍里斯·格林伯格

IPC分类号： G02B26/08 , G01B7/30 , G01R27/26

摘要： 一种系统，包括基于MEMS的致动器单元和控制电路。该致动器单元包括一个或更多个MEMS致动器，每个MEMS致动器包括定子和转子，并且被配置为响应于所述定子和转子之间的电势来限定负载位置。该电路包括一个或更多个放大器，其被配置为向一个或更多个MEMS致动器提供电控制信号，以选择性地改变所述负载的位置。该电路包括传感电路，其被配置用于提供交流载波信号并用于监控所述载波信号，以生成关于所述一个或更多个MEMS致动器的阻抗的数据，该数据指示所述一个或更多个MEMS致动器的转子相对于定子的位置。