公开(公告)号：CN106461458A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580032136.3

申请日：2015-04-17

Applicant: 堀场乔宾伊冯公司

Inventor： E·弗勒泰尔 ,  D·安德雷泽尤斯基 ,  R·布瓦丹 ,  P·德贝蒂尼

IPC: G01J3/06 ,  G01J3/44 ,  G02B21/00 ,  G02B26/10 ,  G01N21/65

CPC classification number: G02B21/0048 ,  G01J3/06 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65 ,  G01N2021/656 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0076 ,  G02B26/101 ,  G02B26/105

Abstract: 本发明涉及一种光束扫描显微镜检查设备，包括适配于发射光束(2)的光源和适配于将所述光束(2)聚焦在物平面(11)中的显微镜物镜(1)。根据本发明，所述显微镜检查设备包括：串联设置在所述光源和所述显微镜物镜(1)之间的所述光束(2)的光路上的第一和第二反射光学装置(M-X1，M-X2)，适配于根据第一预定旋转角度(RX1)倾斜所述第一反射光学装置(M-X1，M-XY1)的第一角度倾斜装置(21，25)，以及适配于根据第二旋转角度(RX2)倾斜所述第二反射光学装置(M-X2，M-XY2)的第二角度倾斜装置(22，26)，以如此方式通过围绕所述显微镜物镜(1)的光瞳的中心(O)枢转而成角度地倾斜所述光束(2)的轴(12)。

公开(公告)号：CN106461458B

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201580032136.3

申请日：2015-04-17

Applicant: 堀场乔宾伊冯公司

Inventor： E·弗勒泰尔 ,  D·安德雷泽尤斯基 ,  R·布瓦丹 ,  P·德贝蒂尼

IPC: G01J3/06 ,  G01J3/44 ,  G02B21/00 ,  G02B26/10 ,  G01N21/65

Abstract: 本发明涉及一种光束扫描显微镜检查设备，包括适配于发射光束(2)的光源和适配于将所述光束(2)聚焦在物平面(11)中的显微镜物镜(1)。根据本发明，所述显微镜检查设备包括：串联设置在所述光源和所述显微镜物镜(1)之间的所述光束(2)的光路上的第一和第二反射光学装置(M‑X1，M‑X2)，适配于根据第一预定旋转角度(RX1)倾斜所述第一反射光学装置(M‑X1，M‑XY1)的第一角度倾斜装置(21，25)，以及适配于根据第二旋转角度(RX2)倾斜所述第二反射光学装置(M‑X2，M‑XY2)的第二角度倾斜装置(22，26)，以如此方式通过围绕所述显微镜物镜(1)的光瞳的中心(O)枢转而成角度地倾斜所述光束(2)的轴(12)。