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公开(公告)号：CN102167322A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110029043.9
申请日：2011-01-15
Applicant: 塔里木大学
IPC: C01B31/36
Abstract: 本发明公开了一种利用氟化氢铵从单晶硅和多晶硅棒切割或硅晶片加工过程中产生的废砂浆中回收碳化硅的工艺方法，包括利用氟化氢铵溶解预处理后的废砂浆中的硅，加水溶解使其形成溶液，过滤得到我们的主要目的产品碳化硅。再对生成的氟硅酸铵溶液进行低温结晶，过滤获得得氟硅酸铵产品。结晶后的水溶液再用来溶解氟硅酸铵，重复使用。在整个过程中各个组分都得到了合理的利用，没有污水外排，没有造成二次污染，满足绿色化工过程的要求。本发明反应速率比较快，工艺条件比较温和，设备投资低，操作简单，易于工业化，具有明显的经济效益和社会效益。
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