公开(公告)号：CN1288451C

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN200410067595.9

申请日：2004-10-28

Applicant: 复旦大学

Inventor： 王军军 ,  周嘉 ,  黄宜平

IPC: G01R23/02 ,  G01L1/10

Abstract: 本发明属压电微传感器技术领域，具体为一种谐振式压电微传感器谐振频率的检测方法。该方法根据激励信号在一定范围内的直流偏置电压与压电微结构的谐振频率存在线性对应关系，在非探测环境和探测环境中，分别用激励信号激励压电微结构，利用数据采集卡比较分别获得最大幅值，以及对应于最大幅值的直流偏置电压VDC和VDC1，再根据VDC和VDC1的差值求解得传感器的谐振频率改变值。使用本发明可实现一种简单的，易于芯片集成的谐振式压电微传感器专用的信号检测系统，而且检测灵敏度高。

公开(公告)号：CN1603845A

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：CN200410067595.9

申请日：2004-10-28

Applicant: 复旦大学

Inventor： 王军军 ,  周嘉 ,  黄宜平

IPC: G01R23/02 ,  G01L1/10

Abstract: 本发明属压电微传感器技术领域，具体为一种谐振式压电微传感器谐振频率的检测方法。该方法根据激励信号在一定范围内的直流偏置电压与压电微结构的谐振频率存在线性对应关系，在非探测环境和探测环境中，分别用激励信号激励压电微结构，利用数据采集卡比较分别获得最大幅值，以及对应于最大幅值的直流偏置电压VDC和VDC1，再根据VDC和VDC1的差值求解得传感器的谐振频率改变值。使用本发明可实现一种简单的，易于芯片集成的谐振式压电微传感器专用的信号检测系统，而且检测灵敏度高。