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公开(公告)号:CN108649097A
公开(公告)日:2018-10-12
申请号:CN201810335286.7
申请日:2018-04-16
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/18
Abstract: 本发明属于光电探测器件领域,具体为一种可拉伸可穿戴弹簧状光电探测器件及其制备方法。本发明通过将纳米氧化锌颗粒涂抹在未完全固化的PDMS模板上,将覆有纳米氧化锌的PDMS完全固化,利用纳米氧化锌做种子层,水热法生长致密的氧化锌,通过剥离最终制备出可穿戴可拉伸的紫外光电探测器件。本发明制备工艺简单快捷,反应不涉及高温高压,得到的光电探测器件可拉伸可穿戴,具有良好的应用前景。
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