公开(公告)号：CN106164762A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201580017084.2

申请日：2015-02-27

申请人： 夏普株式会社

发明人： 久保田智文 ,  宫本和茂 ,  三村泰裕 ,  中武靖裕 ,  中嶋和也

IPC分类号： G02F1/1345 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/30

CPC分类号： G02F1/13452 ,  G02F1/133345 ,  G02F1/1345 ,  G02F1/13458 ,  G02F1/137 ,  G02F2001/13775 ,  G02F2201/121 ,  G02F2201/123

摘要： 本发明提供能够通过防止连接配线间的漏电并且防止水分的侵入来确保可靠性的连接配线。使用在与相邻的连接配线(50)之间的有机绝缘膜(70)的图案边缘对应的位置具有前端尖的突起图案(55a)的形状的掩模进行过曝光。由此，由连接配线(50)夹着的有机绝缘膜(70)的斜面的倾斜变得平缓，因此，在形成连接配线(50)时，抗蚀剂的膜厚沿着有机绝缘膜(70)的边缘线变厚的情况得到抑制。其结果，抗蚀剂不再连接着残留在由相邻的连接配线(50)夹着的区域，能够防止相邻的连接配线间的漏电。

公开(公告)号：CN106164762B

公开(公告)日：2019-05-17

申请号：CN201580017084.2

申请日：2015-02-27

申请人： 夏普株式会社

发明人： 久保田智文 ,  宫本和茂 ,  三村泰裕 ,  中武靖裕 ,  中嶋和也

IPC分类号： G02F1/1345 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/30

摘要： 本发明提供能够通过防止连接配线间的漏电并且防止水分的侵入来确保可靠性的连接配线。使用在与相邻的连接配线(50)之间的有机绝缘膜(70)的图案边缘对应的位置具有前端尖的突起图案(55a)的形状的掩模进行过曝光。由此，由连接配线(50)夹着的有机绝缘膜(70)的斜面的倾斜变得平缓，因此，在形成连接配线(50)时，抗蚀剂的膜厚沿着有机绝缘膜(70)的边缘线变厚的情况得到抑制。其结果，抗蚀剂不再连接着残留在由相邻的连接配线(50)夹着的区域，能够防止相邻的连接配线间的漏电。