半导体激光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN111541147A

    公开(公告)日:2020-08-14

    申请号:CN202010078046.0

    申请日:2020-02-02

    Abstract: 本发明实现激光发光的损失小的半导体激光元件及其制造方法。半导体激光元件的特征在于,具备:基板;第一导电型半导体层,其形成在基板上;发光层,其形成在第一导电型半导体层上;第二导电型半导体层,其形成在发光层上,并具有条纹状的凸部;透明导电层,其在第二导电型半导体层的凸部上形成;导电性的保护层,其形成在透明导电层上;介电膜,其对第二导电型半导体层的凸部的侧面、透明导电层的侧面以及保护层的侧面进行覆盖;以及上部电极,其形成在保护层上,透明导电层的上表面的整个面由保护层覆盖,保护层的上表面的一部分由介电膜覆盖。

    半导体激光器元件、其制造方法以及发光装置

    公开(公告)号:CN110061419A

    公开(公告)日:2019-07-26

    申请号:CN201910024786.3

    申请日:2019-01-10

    Abstract: 本发明实现一种能够充分抑制源自制造过程的污染的、具有较高的可靠性的半导体激光器元件。半导体激光器元件(303)具有朝向其第一端延伸的光波导,光波导依次具有第一包覆层(2)、活性层(3)、第二包覆层(4)以及电极层(10)。在光波导的第二端从活性层(3)的一侧依次具有电介质膜(8)以及金属膜(9)的反射面横穿活性层(3)。

    半导体激光器元件、其制造方法以及发光装置

    公开(公告)号:CN110061419B

    公开(公告)日:2021-01-08

    申请号:CN201910024786.3

    申请日:2019-01-10

    Abstract: 本发明实现一种能够充分抑制源自制造过程的污染的、具有较高的可靠性的半导体激光器元件。半导体激光器元件(303)具有朝向其第一端延伸的光波导,光波导依次具有第一包覆层(2)、活性层(3)、第二包覆层(4)以及电极层(10)。在光波导的第二端从活性层(3)的一侧依次具有电介质膜(8)以及金属膜(9)的反射面横穿活性层(3)。

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